Технические характеристики
Серия iNS — это ступенчатое наноштамповочное оборудование с функциями автоматической фокусировки, автоматического выравнивания и автоматического нанесения штампа.
Применяется в таких областях, как изготовление стеклянных матриц, технология Fan-out, массивы микролинз, оптические волноводные линзы, MEMS и другие.
Технические параметры
|
Модель устройства |
iNS2000 |
iNS3000 |
|
Поддерживающая прозрачная подложка |
200 мм |
300 мм |
|
Точность контроля положения тиснения |
≤±0,5мкм |
|
|
Точность вертикального контроля тиснения |
≤1,0мкм |
|
|
Способ отверждения |
УФ (365 нм) |
|
|
Рельефный объект |
Сферические и асферические структуры |
|
|
Атмосфера защиты от тиснения |
N2 |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Пошаговый наноимпринтер серии iNS |
По запросу |
JoomShopping Download & Support