Одночиповая машина химической очистки KS-CM300/200

Одночиповая машина химической очистки KS-CM300/200 подходит для различных процессов предварительной (FEOL) и задней обработки (BEOL), таких как очистка перед осаждением, очистка после травления, очистка после ионной имплантации, и очистка после CMP. Его можно адаптировать. Высокотемпературный процесс SPM имеет степень покрытия процесса более 80%, оснащен независимо разработанным новым поколением форсунок с высокой эффективностью очистки и малым повреждением, чистота достигает требуемого уровня; с помощью передовых процессов.

Технические характеристики

1. Может быть сконфигурирован с 8, 12 и 16 камерами, одна камера занимает меньшую площадь.
2. Он имеет возможность двусторонней очистки и может работать с различными химическими жидкостями: DHF, SC1, SC2, DIO3, H2SO4, IPA, DSP, ST250, EKC и т. д.
3. Полностью независимое отечественное оборудование, оснащенное высокоскоростным манипулятором собственной разработки Xinyuan.
4. SC1/SC2 для своевременного и оперативного смешивания DMS, которое может использовать различные коэффициенты концентрации.
5. Скорость потока жидкости можно установить одним щелчком мыши, обратная связь с замкнутым контуром автоматически регулирует камеру и автоматически очищает, сокращая время ПМ.

Области применения:

• Стандартная очистка RCA
• Очистка перед осаждением из паровой фазы
• Очистка после CMP и TSV
• Очистка после травления
• Очистка перед EPI и ALD
• Используется для удаления полимеров и тонкопленочных материалов.