Оборудование для нанесения однородного клея (серия S)

Области применения: усовершенствованная упаковка, производство сложных полупроводников и т.д.；
Размер пластины: 150 мм - 300 мм；

Технические характеристики

• Максимальная скорость нанесения однородного клея составляет 6000 об / мин, а максимальное ускорение - 30000 об / мин / с;
  Точность распыления фоторезиста составляет ± 0,1 мл (вязкость≤ 200 об / мин);
• Точность распыления фоторезиста составляет ± 0,01 мл (вязкость> 200 об /мин);
• Метод изоляции водяной бани с постоянной температурой циркуляции, проявитель сохраняет тепло при температуре 23 ℃ ± 0,5 ℃;
• Скорость удаления фоторезиста с края составляет ≥99,99%, а точность составляет 0,1 мкм;
• Он имеет функцию очистки обратной стороны；

Индекс процесса：

Равномерность толщины пленки: WiW≤1%; WtW≤2%; RtR≤5%.