Оборудование для нанесения наноимпринта

Технические характеристики

 Совместимость с пластинами 8/12 дюймов

1. Оборудование совместимо с подложками 8 и 12 дюймов, обеспечивает простую замену пластин
2. Отличная повторяемость точности позиционирования
3. Стабильная производственная мощность

2 Высокая точность

1. Оснащено высокоточным позиционирующим столом и системой распознавания совмещения, точность позиционирования достигает ±1 мкм

3 AR-модульная панель*

1. Толщина клеевого слоя < 1 мкм
2. Толщина грунтовочного слоя контролируется в пределах 500 нм
3. Отличная способность воспроизведения структуры, отклонение размера от мастер-шаблона < 3%, удовлетворяет требованиям модульной компоновки косозубых -ешеток
4. Зрелая технология последующей обработки, модульные панели обладают адгезией, анти адгезионными свойствами и однородностью, соответствуют требованиям серийного производства