Азотная продувка (N₂ Purge)

Технические характеристики

Используется в Load Port для обеспечения азотной продувки с целью снижения влажности и удаления частиц.

Ключевые слова:
Азотная продувка N₂ Purge

Категория:
Вспомогательное оборудование EFEM

Технические параметры

Система предназначена для модулей Load Port, обеспечивает азотную продувку с целью снижения влажности и удаления частиц.

Особенности оборудования:

1. Интеллектуальное управление продувкой
• Поверхность оснащена датчиком FOUP: при извлечении контейнера продувка автоматически прекращается, исключая расход азота.
2. Точный контроль параметров
• Регулировка расхода газа в диапазоне 2–200 л/мин посредством расходомера.
• Снижение относительной влажности (RH) до 10% за 60–120 секунд (в закрытом FOUP).
• Наличие диффузора в FOUP сокращает время продувки и расход азота.
3. Гибкая система управления
• Реализовано управление на базе ПЛК, позволяющее одновременно контролировать multiple групп продувки.
• Поддержка протокола SECS/GEM для интеграции с MES и дистанционного управления.