Автоматический очиститель FOUP (Auto FOUP Cleaner)

Габаритные размеры

Д×Ш×В (мм) = 3900 × 3700 × 3200 (максимальная ширина компонента для перемещения: 1600 мм)

Вес оборудования

8500 кг

Особенности оборудования

Высокая производительность (≥35 шт./ч), длительное эффективное время вакуумирования, отсутствие вспомогательного оборудования, многобуферная конструкция, опциональная система детекции AMC уровня ppb

Тип мойки и сушки

Полностью автоматическая струйная мойка (внутренняя/внешняя) с вращением FOUP; Сушка ИК-нагревом + продувка горячим CDA

Метод удаления AMC

Вакуумирование, вакуумирование с продувкой N₂

Метод детекции AMC

Контроль FOUP до/после мойки, контроль FOUP с пластинами

Управление

Поддержка протокола SECS/GEM, управление через компьютер аппарата, хранение multiple рецептов

Безопасность

Детекция наличия пластин, световые барьеры, блокировки, защита от ошибок, детекция утечек и др.

Надежность

① Фильтр ULPA ≥99.9995%@(0.1-0.2)um; ② Ионная нейтрализация статического электричества

Эксплуатационные параметры

Напряжение: 3-фазное, AC380V, 50Гц
Мощность: макс. 200 кВт
Давление UPW: 0.4 МПа
Расход UPW: макс. 40 л/мин
Давление техн. CDA: 0.7 МПа
Расход техн. CDA: макс. 4×3500 л/мин

Модель

Стоимость, доллары США

Автоматический очиститель FOUP (Auto FOUP Cleaner)

По запросу