Кассетное влажное оборудование (Cassette Type)

Технические особенности

1. Малые габариты и занимаемая площадь
2. Высокая производительность
3. Оптимизированные потоки воздуха и жидкости в ваннах
4. Эффективное удаление частиц
5. Высокая равномерность обработки

Ключевые применения

Предварительная очистка перед формированием затвора, RCA-очистка, удаление фоторезиста, травление оксида кремния, рециклинг пластин

Конструктивные преимущества

1. Конвейер интегрирован в верхней задней части аппарата для экономии пространства
2. Компактная конструкция за счет интеграции внешних модулей в корпус оборудования (включая механизм загрузки/разгрузки пластин)
3. Поворотная сушилка Марангони (SWIVEL Marangoni Dryer)
4. Оптимизация потоков жидкости в ванне для повышения эффективности очистки и равномерности процесса
5. Пространственное разделение технологических зон и оптимизированная вытяжка для улучшения контроля частиц
6. Система обнаружения сломанных пластин для предотвращения вторичных повреждений

Модель

Стоимость, доллары США

Кассетное влажное оборудование (Cassette Type)

По запросу