Кассетное бескассетное влажное оборудование (Cassette Less)

Технические особенности

1. Малая занимаемая площадь
2. Высокая производительность
3. Оптимизированная система потоков воздуха и жидкости в ванне
4. Отличные показатели по частицам
5. Высокая равномерность обработки

Ключевые применения

1. Предварительная очистка перед формированием затвора
2. RCA-очистка
3. Удаление фоторезиста
4. Травление оксида кремния
5. Травление нитрида кремния
6. Рециклинг (восстановление) пластин

Конструктивные преимущества

1. Конвейер для пластин 8-дюймов интегрирован в верхней задней части аппарата, что экономит пространство.
2. Конструкция направляющей подъемника Z-X типа.
3. Оптимизированная сушилка Марангони, совместимая с процессами, где присутствует фоторезист (ИПС при комнатной температуре).
4. Оптимизированная конструкция ванны обеспечивает лучшее распределение потоков внутри нее, что приводит к превосходному качеству очистки и высокой равномерности процесса.

Модель

Стоимость, доллары США

Кассетное бескассетное влажное оборудование (Cassette Less)

По запросу