Бескислородная печь серии MF-OV (горизонтальная подача воздуха)

Бескислородное печное оборудование серии MF-OV специально разработано для удовлетворения требований, предъявляемых к печам с поддержкой интегральных схем в полупроводниковой промышленности. Оно обладает передовыми конструктивными решениями и технологическими процессами, отвечающими требованиям к качеству различных продуктов.

Технические характеристики

Этот продукт подходит для обработки полупроводников, ЖК-панелей, PDP-панелей, сенсорных экранов и других производственных процессов; в оборудовании используется метод цикла нагрева для точного контроля температуры.

1. Высокопроизводительная полость с горизонтальной системой подачи воздуха；
2. Печь имеет конструкцию с двумя полостями, внутренняя полость выполнена с зеркальной поверхностью из нержавеющей стали, и это единый процесс сварки, который обеспечивает чистоту полости оборудования во время работы и предотвращает загрязнение поверхности продукта.；
3. Высоту и уровень всей рамы можно точно отрегулировать с помощью анкерных болтов；
4. Отличные тепловые характеристики, благодаря чему значительно улучшается эффективность нагрева；
5. Конструкция двухслойного уплотнения обеспечивает более низкое энергопотребление и отвечает требованиям экологически чистого производства.

Управление технологическим процессом：

1. Многоступенчатое программное управление, полностью отвечающее различным технологическим потребностям объекта；
2. Благодаря поддержке программного обеспечения AUTORECIPE и программного обеспечения для контроля температуры в режиме реального времени оно может осуществлять управление рабочими параметрами печи, вести записи производственных операций, журналы работы печи и т.д. для повышения эффективности производства и контроля качества продукции.

Технические параметры

1. Придерживайтесь принципа проектирования "сначала процесс", то есть сначала сформулируйте наиболее оптимизированную конфигурацию процесса, а затем определите структуру и компоновку оборудования, чтобы обеспечить наиболее стабильный процесс и наиболее разумное использование материалов, и стремитесь повысить стабильность оборудования и снизить эксплуатационные расходы.；
2. В соответствии с концепцией гуманизированного дизайна, которая заключается в том, что ситуация на месте полностью учитывается в деталях, а дизайн постоянно совершенствуется, чтобы облегчить пользователям использование печи и обслуживание на месте.；
3. Мы можем предложить различные стандартные и нестандартные конструкции полостей, включая диапазон температур, размер емкости, форму печи и т.д.；
4. Равномерность температуры в соответствии с GBT30435-2013；
5. Безопасность оборудования соответствует стандартам TS16949/ISO14001/OHAS18001；
6. Обеспечивают экономичную работу печи, равномерность температуры, стабильность температуры, скорость нагрева, время восстановления температуры и другие условия процесса.；
7. Интерфейс оборудования для тестирования полупроводниковой упаковки, соответствующий стандарту SECS/GEM, и заводское программное обеспечение позволяют полностью управлять печью и контролировать ее работу через интерфейс SECS/GEM.；
8. Предоставьте соответствующие протоколы испытаний, отчеты о корректировке температуры печи, тестировании уровня шума в печи, тестировании поверхности печи на соответствие стандартам SGS и т.д.；
9. К изделию прилагается полное руководство пользователя и инструкции по эксплуатации.

Базовая конфигурация функций：

1. Защита от протечек；
2. Электромагнитный дверной замок；
3. Нагревательный предохранитель；
4. Защита от потери фазы источника питания；
5. Защита от перегрева；
6. Криогенный протектор；
7. Защита нагревателя от высыхания；
8. Определение частоты вращения двигателя и защита от него；
9. UPS；
10. Определение давления N2；
11. Определение расхода N2；
12. Определение расхода воды；

Выбор функции：

1. Оперативное определение содержания кислорода в полости рта；
2. Обнаружение соединения при высоких и низких температурах；
3. Определение давления в полости；
4. Автоматический выпускной клапан；
5. Устройство для улавливания осадка отходящих газов；
6. Сжигание воздуха в полости и сброс сточных вод；
7. Фильтрующее устройство для удаления пыли из полости；