Бескислородные печи серии MF-OVV (вертикальная подача воздуха)

Оборудование для печей серии MF-OVV специально разработано для использования в печах, производящих полупроводниковые интегральные схемы. В нем используются передовые конструктивные решения и технологические процессы, отвечающие требованиям к качеству различных продуктов.

Технические характеристики

Этот продукт подходит для обработки полупроводниковых материалов. В печи используется метод вертикального термического цикла для точного контроля температуры.

1. При использовании вертикальной системы подачи воздуха модуль вертикальной полости устанавливается в верхней части вертикальной полости, что сокращает пространство для установки на 20-60% по сравнению с традиционным способом установки.Повысьте эффективность производственной линии и сэкономьте место на оборудовании；
2. Внутренняя полость изготовлена из проволоки SUS304 и представляет собой единый процесс сварки, который обеспечивает чистоту полости печи во время работы и предотвращает загрязнение поверхности изделия.；
3. Внутренняя дверная конструкция и задняя дверь представляют собой единую конструкцию с двойным уплотнением для предотвращения потери тепла.；
4. Высоту и уровень всей рамы можно точно отрегулировать с помощью анкерных болтов；
5. Конструкция большого объема, благодаря усовершенствованной перегородке и опорной плите, позволяет одновременно выдерживать больший вес продукта；
6. Отличные тепловые характеристики, эффективность обогрева значительно улучшена, эксплуатация не влияет на окружающую среду, а температура в помещении остается неизменной.

Управление технологическим процессом：

1. Многоступенчатое программное управление, полностью отвечающее различным технологическим потребностям объекта；
2. Благодаря поддержке программного обеспечения AUTORECIPE и программного обеспечения для контроля температуры в режиме реального времени оно может осуществлять управление рабочими параметрами печи, вести записи производственных операций, журналы работы печи и т.д. для повышения эффективности производства и контроля качества продукции.

Технические параметры

1. Придерживайтесь принципа проектирования "сначала процесс", то есть сначала сформулируйте наиболее оптимизированную конфигурацию процесса, а затем определите структуру и расположение оборудования, чтобы обеспечить наиболее стабильный процесс и наиболее разумное использование материалов, и стремитесь повысить стабильность оборудования и снизить эксплуатационные расходы.；
2. В соответствии с концепцией гуманизированного дизайна, которая заключается в том, что ситуация на месте полностью учитывается в деталях, а дизайн постоянно совершенствуется, чтобы облегчить пользователям использование печи и обслуживание на месте.；
3. Мы можем предложить различные стандартные и нестандартные конструкции полостей, включая диапазон температур, размер емкости, форму печи и т.д.
4. Обеспечивают экономичную работу печи, равномерность температуры, стабильность температуры, скорость нагрева, время восстановления температуры и другие условия процесса.；
5. Слои могут быть настроены в соответствии с требованиями к несущей способности и расстоянию между ними；
6. Равномерность температуры в соответствии с GBT30435-2013；
7. Безопасность оборудования соответствует стандартам TS16949/ISO14001/OHAS18001；
8. Интерфейс оборудования для тестирования полупроводниковой упаковки, соответствующий стандарту SECS/GEM, и заводское программное обеспечение позволяют полностью управлять печью и контролировать ее работу через интерфейс SECS/GEM.；
9. Предоставьте соответствующие протоколы испытаний, отчеты о корректировке температуры печи, тестировании уровня шума в печи, тестировании поверхности печи на соответствие стандартам SGS и т.д.；
10. К изделию прилагается полное руководство пользователя и инструкции по эксплуатации.

Базовая конфигурация функций：

1. Защита от потери фазы источника питания；
2. Защита от протечек；
3. Электромагнитный дверной замок (цилиндровый дверной замок)；
4. Предохранитель от перегрузки；
5. Защита от перегрева；
6. Защита обогревателя от сухого горения；
7. Определение частоты вращения двигателя；
8. Определение давления N2；
9. Регулятор давления в фильтре N2；

Дополнительные функции：

1. Оперативное определение содержания кислорода；
2. Определение расхода N2；
3. Связь настроек измерителя высокой и низкой температуры；
4. Определение давления в полости；
5. Автоматическое вытяжное устройство；
6. Устройство для улавливания осадка отходящих газов；