Вертикальная печь быстрого отжига с галогенной лампой RTP представляет собой быструю 8-дюймовую печь быстрого отжига, использующую инновационную технологию нагрева, которая может осуществлять реальное измерение температуры подложки, и ей не нужно использовать традиционную температурную компенсацию печи быстрого отжига, и она обладает точностью контроля температуры, высокой повторяемостью температуры. Среди заказчиков - многие ведущие полупроводниковые компании и международная научно-исследовательская группа, которые являются идеальным выбором для процесса отжига полупроводниковых материалов.
Технические характеристики
Вертикальная печь быстрого отжига с галогенной лампой RTP представляет собой быструю 8-дюймовую печь быстрого отжига, использующую инновационную технологию нагрева, которая может осуществлять реальное измерение температуры подложки, и ей не нужно использовать традиционную температурную компенсацию печи быстрого отжига, и она обладает точностью контроля температуры, высокой повторяемостью температуры. Среди заказчиков - многие ведущие полупроводниковые компании и международная научно-исследовательская группа, которые являются идеальным выбором для процесса отжига полупроводниковых материалов.
Технические параметры
|
Размер подложки |
8 дюймов |
|
Основание подложки |
Кварцевая игла (дополнительная графитовая основа с покрытием Si-C) |
|
Диапазон температур |
150-1250℃ |
|
Скорость нагрева |
10-150 ℃ /С |
|
Равномерность температуры |
≤± 1,5% (при 800 ℃, кремниевая пластина) ≤± 1,0% (при 800 ℃, подложка на графитовом восприимчивом элементе с покрытием Si-C) |
|
Точность контроля температуры |
≤ ±3℃ |
|
Повторяемость температуры |
≤ ±3℃ |
|
Степень вакуума |
5.0E-3 Торр / 5.0E-6 Торр |
|
Пневматическая подача |
Стандартный 1-канальный контур продувки N2 и охлаждающего воздуха, управляемый MFC (максимум 3 канала) |
|
Продолжительность отжига |
≥35 мин при 1250 ℃ |
|
Контроль температуры |
Быстрое цифровое ПИД-регулирование |
|
Размер |
900 мм * 650 мм * 1600 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Halogen lamp RTP vertical rapid annealing furnace |
По запросу |
JoomShopping Download & Support