Данный продукт представляет собой высоковакуумную печь быстрого отжига RTP, нагреваемую галогенной лампой, и может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига составных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, нанесения пленок и т.д.
Технические характеристики
Данный продукт представляет собой высоковакуумную печь быстрого отжига RTP, нагреваемую галогенной лампой, и может использоваться для быстрого термического отжига, быстрого термического окисления, быстрого термического азотирования, силицирования, диффузии, отжига составных полупроводников, отжига после ионной имплантации, легирования электродов, кристаллизации и уплотнения, анализа температуры плавления сплавов, нанесения пленок и т.д.
Оборудование в основном состоит из кварцевой вакуумной камеры, вакуумного насоса, блока водяного охлаждения и системы управления. Система управления использует интеллектуальный контроль температуры и сенсорный экран. Ее цифровой интерфейс параметров и автоматический режим работы предоставляют пользователям отличную платформу для исследований и разработок. Камера печи перемещается влево-вправо, а расстояние от образца гибко регулируется.
Оборудование оснащено биполярным роторно-лопастным насосом, который обладает преимуществами небольшого размера, низкого уровня шума и отсутствия загрязнения маслом.
Технические параметры
|
Модель |
CY-O1000-200I-T-RTP |
|
Технические характеристики труб печи |
Внутренний диаметр 100 мм, зона нагрева 400 мм, общая длина 550 мм Материал: кварц высокой чистоты |
|
Скорость нагрева |
0-200℃/с |
|
Скорость охлаждения |
Выше 200℃≤25мин |
|
Нагревательный элемент |
Галогенная лампа |
|
Вакуумный интерфейс |
KF16 |
|
Впускное отверстие |
Головка пагоды с воздушным шлангом наружного диаметра 10 мм |
|
Спецификация фланца |
φвакуумный метод из нержавеющей стали 100 фланец водяного охлаждения Интерфейс водяного охлаждения: быстроразъемный разъем φ10mm |
|
Вакуумная система |
Биполярный роторно-лопастной насос, скорость откачки 1,1 Л/с Максимальный вакуум: 10-1Pa |
|
Система контроля температуры |
Интеллектуальный измеритель контроля температуры контроль температуры С защитой от перегрева Измерение температуры: термопара K-типа |
|
Охладитель воды |
Емкость бака для воды 9Л, Макс. подъемная головка 10м |
|
Впускное отверстие |
φ10 Пагодная Головка |
|
Клапан выпуска воздуха |
Ручной клапан выпуска воздуха |
|
Требования к питанию |
220V 50Hz, 24kW |
|
Размеры |
1200мм x 500мм x 480мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-O1000-200I-T-RTP |
По запросу |
JoomShopping Download & Support