Устройство для нанесения пленок методом плазменного распыления и испарения "два в одном" оснащено мишенью для распыления постоянным током и узлом термического испарения, который можно использовать не только для плазменного распыления, но и для получения простых пленок углерода или других металлов путем испарения.
Технические характеристики
Установка для нанесения пленки "два в одном" для плазменного распыления оснащена мишенью для распыления постоянным током и узлом термического испарения, который можно использовать не только для плазменного распыления, но и для получения простых пленок из углерода или других металлов путем испарения. Для улучшения качества покрытия в этой машине для нанесения пленки "два в одном" используется вакуумная камера из нержавеющей стали с высоковакуумной конструкцией прецизионного молекулярного насоса, высокая степень вакуума может эффективно улучшить чистоту и однородность покрытия, что способствует получению лучших экспериментальных результатов. Устройство для отбора проб имеет функцию вращения и нагрева, что может улучшить адгезию пленки и ее однородность. Прибор небольшого размера, экономит место и может быть установлен на испытательном стенде. Она очень подходит для университетов и научно-исследовательских институтов.
Применение
Напыление золота на поверхность образца под сканирующим электронным микроскопом, обработка золота паром, напыление углеродом и другие операции, а также подготовка тестируемых электродов из непроводящего материала.
Технические параметры
|
Малогабаритная высоковакуумная машина для нанесения пленки "два в одном" |
||||
|
Этап отбора проб |
Размер |
φ138 мм |
Точность измерения температуры |
±1℃ |
|
Температура нагрева |
Макс 500℃ |
Скорость вращения |
Регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Распылительная головка постоянного тока |
Количество |
2” ×1 |
||
|
Система испарения |
Источник испарения |
Корзина из вольфрамовой проволоки |
Максимальная температура |
1700℃ |
|
Термопара |
Термопара типа S |
|||
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ170 мм × 200 мм |
Обзорное окно |
Кварцевое смотровое окно φ70 |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь |
Способ открывания |
Верхняя крышка открыта |
|
|
Вакуумная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
Интерфейс откачки |
KF40 |
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
Интерфейс выпуска |
KF16 |
|
|
Вспомогательный насос |
Роторно-лопастной насос |
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр |
|
|
Максимальный вакуум |
1,0E-5Pa |
|||
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: вращающийся 600Л/с Роторно-лопастной насос: 1,1 л/С комплексная производительность откачки: 20 минут, разрежение до: 1,0E-3pa |
|||
|
Конфигурация мощности распыления |
Количество |
Источник питания постоянного тока×1 |
Максимальная выходная мощность |
150 Вт |
|
Другие параметры |
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
Размеры |
600 мм×300 мм×470 мм |
|
Общая мощность |
1,5 кВт |
Общий вес |
40 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Small high vacuum two-in-one film coater |
По запросу |
JoomShopping Download & Support