Малогабаритное оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением CY-MSP210S-RFD с двумя мишенями было уменьшено в размерах, сохранив высоковакуумную полость из нержавеющей стали, при этом упростив другие механизмы, что значительно снизило требования к месту установки.
Технические характеристики
Оборудование для малогабаритного магнетронного распыления с двойным источником распыления CY-MSP210S-RFD было миниатюризировано с сохранением высоковакуумной полости из нержавеющей стали, при одновременном упрощении других механизмов, что значительно снижает требования к месту установки. В Устройство для нанесения магнетронного напыления оснащено источником питания постоянного тока и источником радиочастотного питания. Мишень постоянного тока может использоваться для распыления металлов и других проводящих материалов. Радиочастотный источник питания может использоваться для распыления различных неметаллов и оксидов металлов. В вакуумной системе оборудования используются все импортные вакуумные насосы с высокой скоростью откачки, высоким предельным вакуумом и отличными вакуумными характеристиками. Оборудование обладает компактной структурой, совершенными функциями и простотой в использовании. Оно очень подходит для различных испытаний покрытий.
Технические параметры
|
Стадия отбора проб |
Размер |
φ150mm |
|
Скорость вращения |
0-20 регулируемых |
|
|
Нагрев |
Температура до 500 ℃ |
|
|
Мишень для магнетронного распыления |
Количество |
Двойные мишени размером 2 x 2 имеют общую перегородку |
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ210 мм x 230 мм |
|
Материал камеры |
Нержавеющая сталь SS304 |
|
|
Обзорное окно |
φ40mm |
|
|
Способ вскрытия |
Входная дверь |
|
|
Вакуумная система |
Механический насос |
Импортный безмасляный мембранный насос |
|
Интерфейс перекачки |
KF16 |
|
|
Молекулярный насос |
Импортный молекулярный насос |
|
|
Интерфейс перекачки |
KF40 |
|
|
Интерфейс выхлопа |
KF16 |
|
|
Измерение вакуума |
Датчик сопротивления + ионизационный датчик |
|
|
Максимальный вакуум |
1.0E-3Pa |
|
|
Скорость откачки |
Безмасляный насос 0,49 л/с Молекулярный насос: 40 л/с |
|
|
Источник питания |
AC 220V 50/60 Гц |
|
|
Конфигурация мощности |
Количество |
Источник питания постоянного тока x1 Радиочастотный источник питания x1 |
|
Максимальная выходная мощность |
Источник питания постоянного тока 500 Вт Радиочастотный источник питания 500 Вт |
|
|
Другое |
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Общая мощность |
2 кВт |
|
|
Габаритные размеры |
550 мм x 550 мм x1100 мм |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP210S-RFD |
По запросу |
JoomShopping Download & Support