Термическое атомно-слоевое осаждение SPACE-L

Процесс

Металл: Ru, Ti, Co
Оксид: Al2O3, HfO2, TiO2, SnO2, NiOx, ZnO, ZrO, SiO2, RuO
Нитрид: TiN, TaN

Размер подложки

Размер до 12 дюймов

Ввод источника

Насадка для душа двойного типа

Температура нагревателя подложки

От комнатной температуры до макс. 450 ℃ ( пластина)

Номер канистры с прекурсором

До 4 комплектов

Нагрев канистры

От 0 до 150 ℃

Радиочастотная мощность

600 Вт при частоте 13,56 МГц

Предельное давление

≤ 5,0×10-3 Торр

Насос

Сухой насос или роторный насос

Камера блокировки нагрузки

1 пластина на макс. 10 пластин

Подача газа

3 канала (с возможностью расширения)

Равномерность осаждения

≤ ±3 %

Системный контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Температура в канистре 200 °C, кассетный фиксатор

Размер (Ш*Д*В)

2000 мм * 650 мм * 1400 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Термическое атомно-слоевое осаждение SPACE-L

 По запросу