Термическое атомно-слоевое осаждение SPACE-S

Процесс

Металл: Ru, Ti, Co
Оксид: Al2O3, HfO2, TiO2, SnO2, NiOx, ZnO, ZrO, SiO2, RuO
Нитрид: TiN, TaN

Размер подложки

От кусочка до 8 дюймов

Ввод источника

Душевая лейка двойного типа или переносная

Температура нагревателя подложки

От комнатной температуры до макс. 350 ℃ ( пластина)

Номер канистры с прекурсором

До 4 комплектов

Нагрев канистры

От 0 до 150 ℃

Радиочастотная мощность

600 Вт при частоте 13,56 МГц

Предельное давление

≤ 5,0×10-3 Торр

Насос

Сухой насос или роторный насос

Равномерность осаждения

≤ ±3 %

Системный контроль

Управление с ПК (программное обеспечение UPRO)

Опция

Температура в канистре 200 ℃

Размер (Ш*Д*В)

870 мм * 1070 мм * 1100 мм

Модель

Стоимость, доллары США

Термическое атомно-слоевое осаждение SPACE-S

 По запросу