Это оборудование представляет собой многофункциональный инструмент для нанесения покрытий методом выпаривания в высоком вакууме. В оборудовании используется конструкция вакуумной камеры с фронтальным отверстием. Камера имеет большое пространство и высокую расширяемость, что позволяет наносить покрытия методом выпаривания на различные типы образцов большого размера.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой оборудование для нанесения покрытий методом высоковакуумного испарения с несколькими источниками испарения. Оборудование имеет конструкцию вакуумной камеры с фронтальным открыванием. Камера имеет большое пространство и высокую расширяемость, что позволяет покрывать испарением несколько типов крупногабаритных образцов. Внутри камеры имеется верхняя ступень для отбора проб, а детали для крепления образца зажимного типа могут быть выбраны в соответствии со стилем образца пользователя. Стол для отбора проб можно поворачивать, нагревать, поднимать и опускать, а все операции интегрированы и управляются с помощью сенсорного экрана. Комплект вакуумных насосов оборудования представляет собой двухступенчатую вакуумную систему, которая состоит из двухступенчатого роторно-лопастного вакуумного насоса и турбомолекулярного насоса. Оно может обеспечить чистую и безмасляную среду высокого вакуума для испытания вакуумного покрытия; вакуумная система содержит комплектную систему пневматических клапанов, и пользователь может одним касанием управлять с помощью сенсорного экрана процессом вакуумирования, непрерывной загрузки и выгрузки образца, полного отключения и других операций.
Оборудование оснащено двумя наборами источников испарения. В нем используется источник испарения в виде вольфрамовой лодки и медные электроды с водяным охлаждением. Оно может поддерживать максимальный ток 300А и температуру нагрева до 3000 ℃. Оно может осуществлять испарение различных тугоплавких металлов. Данное оборудование имеет интегрированную конструкцию, а камера и электрическая управляющая часть разделены слева и справа, что обеспечивает разделение воды и электричества и эффективно гарантирует безопасность пользователей. Электрическая часть управления выполнена в виде комбинации сенсорного экрана и кнопочной панели. Вакуумная система, таблица образцов и другие вспомогательные функции управляются сенсорным экраном одной кнопкой. Управление процессом испарения и регулировкой толщины пленки осуществляется панелью независимо, что максимально удобно для пользователей и исключает возможность неправильной работы. Оборудование хорошо спроектировано и обладает отличной производительностью, и оно является незаменимым выбором для лабораторного высокоточного испытания покрытий методом испарения.
Технические параметры
|
Стадия отбора проб |
Размер |
Максимальная поддержка образца φ150 мм |
|
Высота |
Регулируется вверх и вниз на 70 мм |
|
|
Источник испарения |
Количество |
Вольфрамовая лодка x2 |
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
Диаметр 300 мм x 400 мм |
|
Материал камеры |
нержавеющая сталь 304 |
|
|
Обзорное окно
|
Передняя часть φ100 мм с затеняющим листом |
|
|
Способ вскрытия |
Передняя дверь открыта |
|
|
Контроль толщины пленки |
Прибор для измерения толщины кристаллической вибрирующей пленки, дополнительный многоканальный регулятор толщины пленки |
|
|
Вакуумная система |
Вспомогательный насос |
Двухступенчатый роторно-лопастной насос |
|
Насосный порт |
KF16 |
|
|
Вторичный насос |
Турбомолекулярный насос |
|
|
Насосный порт |
CF160 |
|
|
Измерение вакуума |
Составные вакуумметры сопротивления + ионизации |
|
|
Максимальный вакуум |
1.0E-5Pa |
|
|
Скорость откачки |
Роторно-лопастной насос: 1,1 Л/С |
|
|
Скорость выхлопа |
Механический насос 1.1Л/с Молекулярный насос 600Л/с |
|
|
Источник питания |
AC 220V 50/60 Гц |
|
|
Расходомер |
Одноканальный массовый расходомер Ar газа 500sccm |
|
|
Система управления |
Автоматическое управление ПЛК Интерфейс управления: сенсорный экран + панель управления |
|
|
Другое |
Напряжение питания |
AC380V, 50 Гц |
|
Общая мощность |
5 кВт |
|
|
Размер машины |
1000мм x 800мм x 1500мм |
|
|
Вес машины |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Multi evaporation sources high vacuum evaporation coating equipment |
По запросу |
JoomShopping Download & Support