Настольная машина для нанесения покрытий методом термического испарения со столом для образцов с водяным охлаждением


Производитель: CY Scientific Instrument, Китай

0 USD

Настольная машина для термического испарения с полостью из нержавеющей стали - это небольшая настольная машина для термического испарения, специально разработанная для работы в высоком вакууме, она может выполнять испарение различных распространенных металлов и неметаллов

Технические характеристики

Настольный аппарат для термического испарения с водяным охлаждением стола для образцов представляет собой небольшой настольный аппарат для испарения, который устанавливается с источником испарения в вольфрамовой корзине, он может обеспечить максимальный ток покрытия 100 А, максимальную температуру испарения до 1800 ℃ и может выполнять испарение различных обычных металлов и части неметаллических материалов .металл. Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали и была дегазирована перед поставкой. Она может достигать предельного разрежения 5x10-5Pa с помощью молекулярной насосной группы, которая может обеспечить вакуум, необходимый для испарения большинства материалов; В то же время, оборудование использует конструкцию высокого резервуара и платформы для образцов с водяным охлаждением, которые могут уменьшить тепловое излучение источника испарения к образцу, обеспечить, чтобы поверхность образца не перегревалась, и поддерживать комнатную температуру. Это может эффективно предотвратить повреждение образца из-за высокой температуры теплового испарения, особенно подходит для покрытия различных образцов полимерной пленкой.

Технические параметры

Название продукта

Настольная машина для термического испарения со столом для отбора проб с водяным охлаждением

Модель продукта

CY-EVP195S-2S-WT(T означает высокий резервуар;W означает стол для отбора проб с водяным охлаждением)

Условия установки

1,Температура рабочей среды: 25℃±15℃,влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной;

2,Источник питанияоборудования: 220В50 Гц, должен быть хорошо заземлен;

3, Номинальная мощность:2500 Вт;

4、Газовое оборудование:Для очистки камеру оборудования следует заполнить газообразным аргоном. Клиент должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%.

5,Требования к размерам таблицы: 600 мм × 600 мм × 700 мм,несущая способность ≥ 70 кг;

6、Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться.

Технические показатели

1、 Количество источников испарения: 2, каждый источник испарения оснащен перегородкой;

2、 Напряжение источника испарения: 10 В

3、 Ток испарения плавно регулируется от 0 до 100А

4 、 С двумя вольфрамовыми лодочками, двумя вольфрамовыми корзинами;

5 、 Вращающаяся верхняя платформа для образцов с водяным охлаждением из нержавеющей стали, диаметр 100 мм, скорость вращения 1 ~ 20 об/мин с плавной регулировкой;  

6、 Расстояние между платформой для отбора проб и источником испарения составляет 300 мм;

7 、 Интерфейс водяного охлаждения стола для образцов представляет собой быстроразъемный разъем диаметром φ6 мм, который необходимо оснастить охладителем циркулирующей воды.

8、 Вакуумная камера представляет собой полость из нержавеющей стали с наружным диаметром 195 мм, внутренним диаметром 185 мм и высотой 350 мм;

Кварцевое смотровое окно с перегородкой, размер9, φ60 мм,,

10、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере - KF40;

11、 Интерфейс забора воздуха представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма, по умолчанию для регулировки забора воздуха предусмотрен клапан тонкой настройки из нержавеющей стали ;

12、 Сенсорный экран-цветной сенсорный экран 7 дюймов;

Можно установитьрегулируемый ток распыления 13, значение тока безопасности при распылении и значение безопасного вакуума;

14、 защита от перегрузки по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления;

Максимальный вакуум15 :1Па (соответствующий двухступенчатый роторно-лопастной насос);

Измерение вакуума производится вакуумметром Parana 16, диапазон составляет1~105 па

УВЕДОМЛЕНИЕ

1、Для того, чтобы в полной мере использовать вакуумные характеристики полости, рекомендуется использовать ее с группой молекулярных насосов.

2、Рекомендуется приобрести охладитель воды CW3000 или лучший циркуляционный охладитель воды.

Дополнительный аксессуар

Пленка

Контроль толщины

1, Разрешение толщины пленки:0,0136Å(алюминий)

2, Точность определения толщины пленки :± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности

3, Скорость измерения: от 100 мс до 1 с за раз,можно установить диапазон измерений:500000(алюминий)

4, Стандартный сенсорный кристалл:6 МГц

5、Подходит для частоты пластин:6 МГц

подходит для размера пластин:Φ14 мм

монтажный фланец:CF35

Еще один аксессуар

1、 вольфрамовая лодка, вольфрамовая корзина;

2 、 Органический источник испарения (включая кварцевую лодку и источник нагрева вольфрамовой проволоки)

3、 Количество источников испарения может быть выбрано в 1 ~ 2 группах;

4 、 Комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па);

Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па)

Биполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4;

5、 Охладитель циркулирующей воды CW3000 (воздушное охлаждение, расход 10л в минуту)

6 、 Вакуумный сильфон KF40; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40;

7、 Кварцевый генератор для измерения толщины пленки;

 

Модель

Стоимость, доллары США

CY-EVP195S-2S-WT

По запросу

Copyright MAXXmarketing GmbH
JoomShopping Download & Support