Настольный аппарат для термического испарения с электрической подъемной платформой для образцов представляет собой небольшой настольный аппарат для испарения, который устанавливается с источником испарения в вольфрамовой корзине, он может обеспечить максимальный ток покрытия 100А, максимальную температуру испарения до 1800℃.
Технические характеристики
Настольный аппарат для термического испарения с электрической подъемной платформой для образцов представляет собой небольшой настольный аппарат для испарения, который устанавливается с источником испарения в вольфрамовой корзине, он может обеспечить максимальный ток покрытия 100 А, максимальную температуру испарения до 1800 ℃ и может выполнять испарение различных обычных металлов и части неметаллических материалов. Вакуумная камера изготовлена из нержавеющей стали и была дегазирована перед поставкой. Она может достигать предельного разрежения 5x10-5Pa с помощью молекулярной насосной группы, которая может обеспечить вакуум, необходимый для испарения большинства материалов; В то же время, оборудование использует конструкцию высокого резервуара и платформы для образцов с водяным охлаждением, которые могут уменьшить тепловое излучение источника испарения к образцу, обеспечить, чтобы поверхность образца не перегревалась, и поддерживать комнатную температуру. Это может эффективно предотвратить повреждение образца из-за высокой температуры теплового испарения, особенно подходит для покрытия различных образцов полимерной пленкой.
Технические параметры
|
Название продукта |
Настольная машина для термического испарения с электрической подъемной платформой для отбора проб |
|
Модель продукта |
CY-EVP195S-1S-LT(T означает высокий резервуар ;L означает подъем) |
|
Условия установки |
1,Температура рабочей среды: 25℃± 15℃,влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной; 2、Источник питания оборудования: 220 В 50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3, Номинальная мощность:2500 Вт; 4, Оборудование для газа ： Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5、размер стола требования: 600мм×600мм×700мм，несущая способность ≥ 70кг； 6、Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
Технические показатели |
1、 Количество источников испарения: 2, каждый источник испарения оснащен перегородкой; 2、 Напряжение источника испарения: 10 В 3、 Ток испарения непрерывно регулируется от 0 до 100А 4 、 С 1 вольфрамовой лодкой, 1 вольфрамовой корзиной; 5、 Электрическая подъемная платформа для образцов из нержавеющей стали, диаметр 100 мм, скорость вращения 1 ~ 20 об / мин с плавной регулировкой; 6、 Расстояние между образцом и источником испарения непрерывно регулируется в диапазоне от 190 до 300 мм, а также может регулироваться вверх и вниз в условиях вакуума; 7、 Вакуумная камера представляет собой полость из нержавеющей стали с наружным диаметром 195 мм, внутренним диаметром 185 мм и высотой 350 мм; 8、 Tверхняя крышка герметизирована фланцем ISO для удобства демонтажа и осмотра; 9、 полость снабжена входной двери и кварцевые смотровые окна с перегородкой ;размер ofφ60mm 10、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере равен KF40; 11、 Интерфейс забора воздуха представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма, по умолчанию предусмотрен клапан тонкой настройки из нержавеющей стали для регулировки забора воздуха; 12, Сенсорный экран-цветной сенсорный экран 7 дюймов; 13, Регулируемый ток распыления,можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 14、 защита безопасности: перегрузка по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления; 15、 Максимальный вакуум：1Па (соответствующий двухступенчатый роторно-лопастной насос); |
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1、Для того, чтобы в полной мере использовать вакуумные характеристики полости, рекомендуется использовать ее с группой молекулярных насосов. |
|
Дополнительный аксессуар |
|
|
Пленка Монитор толщины |
1、толщины пленки резолюции：0.0136 Å（алюминиевый） 2,Точность определения толщины пленки :± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности. 3、измерения скорости：100 мс до 1С в разы ，диапазон измерения может быть установлен ：500000Å（алюминиевый） 4, Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5、Подходит для частоты пластин:6 МГц подходит для размеров пластин：Φ14 мм монтажный фланец：CF35 |
|
Еще один аксессуар |
1、 вольфрамовая лодка, вольфрамовая корзина; 2 、 Источник органического испарения (включая кварцевую лодку и источник нагрева вольфрамовой проволоки) 3、 Количество источников испарения может быть выбрано в 1 ~ 2 группах; 4 、 Комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая композитный вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па); Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) Двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4; 5 、 Охладитель циркулирующей воды CW3000 (воздушное охлаждение, расход 10 л в минуту) 6 、 Вакуумный сильфон KF40; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40; 7、 Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-EVP195S-1S-LT |
По запросу |
JoomShopping Download & Support