Ultron Systems' Model UH110

Ultron Systems Model UH110 — это установка химического осаждения из газовой фазы (CVD) или родственного процесса, предназначенная для обработки полупроводниковых пластин. 

Плазменного травления (RIE, ICP)

Химического осаждения из газовой фазы (CVD, PECVD)

Полуавтоматические устройства для удаления пленки Ultron Systems моделей UH110 и UH110-8 снимают пленку с пластин диаметром от 3 до 8 дюймов после шлифовки или травления. Виртуальный угол отслаивания в 180° обеспечивает более эффективное удаление и меньшее напряжение на пластине, что приводит к увеличению выхода годной продукции.

Обе системы превосходят трудоемкое ручное удаление при значительно меньших затратах по сравнению с полностью автоматическим оборудованием. Производительность достигает 200 пластин в час. Стандартная модель UH110 может работать с пластинами диаметром до 6 дюймов, а модель UH110-8 — с пластинами диаметром 8 дюймов и меньше. Переключение с одного размера пластины на другой происходит за считанные секунды простым изменением рабочей платформы. Кнопочное управление обеспечивает простоту использования, исключая все переменные, зависящие от оператора.

Особенности:

- Короткий цикл удаления для повышения производительности

- Виртуальный угол отслаивания 180° для снижения напряжения пластины и повышения выхода годной продукции

- Нагреваемый столик для пластин: обеспечивает удаление пленки с минимальным напряжением пластины

- Быстрая перезагрузка ленты для отслаивания

- Легкая утилизация снятой защитной пленки

- Не требуется специальное обучение оператора

- Компактный размер, настольная конструкция

- Быстрее и дешевле, чем традиционный метод химического удаления

- Сменный столик для пластин подходит для пластин разных размеров/типов