Основные технические характеристики 1SWA-90GDA
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
1SWA-90GDA |
|
Тип |
Лазерный отжиг (Laser Anneal) |
|
Тип лазера |
Твердотельный лазер (Nd:YAG) или диодный (зависит от конфигурации) |
|
Длина волны |
Обычно 532 нм (зеленый) или 1064 нм (инфракрасный) |
|
Максимальная температура |
До 1300 °C (пиковая) |
|
Скорость сканирования |
До 1000 мм/с |
|
Размер пятна (beam spot) |
Регулируемый, от десятков микрон до нескольких миллиметров |
|
Диаметр обрабатываемых пластин |
150–300 мм (6–12 дюймов) |
|
Равномерность обработки |
≤ ±2% (по всей пластине) |
|
Система загрузки |
Однопластинная загрузка с автоматическим манипулятором |
|
Управление |
Промышленный ПК с программным обеспечением для контроля процесса и регистрации данных |
|
Габариты (Ш × Г × В) |
Примерно 1.5 × 2.0 × 2.2 м (зависит от конфигурации) |
|
Масса |
Примерно 1200–1800 кг |
|
Напряжение питания |
200–480 В, 3 фазы, 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность |
Примерно 10–15 кВт (зависит от режима работы) |
Ключевые особенности
- Локальный нагрев с высоким разрешением
- Высокая скорость нагрева и охлаждения
- Гибкость по длине волны
- Автоматизированная обработка пластин
- Программируемое сканирование
Лазерный луч сканирует поверхность пластины по заданной траектории, что позволяет обрабатывать пластины целиком или только выбранные области (селективный отжиг).
Производство: Япония
JoomShopping Download & Support