Основные технические характеристики Canon FPA-3000 i4
|
Параметр |
Значение |
|
Модель |
FPA-3000 i4 |
|
Тип |
i-line степпер (пошаговое совмещение и экспонирование) |
|
Источник экспонирования |
Ртутная лампа i-line (длина волны 365 нм) |
|
Разрешение |
0.35 мкм (350 нм) |
|
Коэффициент редукции объектива |
5:1 (5-кратное уменьшение) |
|
Максимальное поле экспонирования (изображение) |
22 × 22 мм |
|
Размер пластины |
200 мм (8 дюймов) |
|
Точность совмещения |
≤ 60 нм (с использованием усовершенствованной системы совмещения) |
|
Производительность |
Примерно 80–100 пластин в час (зависит от условий) |
|
Тип стола |
Пневматический (аэростатический) стол для высокой точности и скорости |
|
Автофокус / Автовыравнивание |
Да |
|
Размер ретикла |
6 × 6 дюймов (толщина 0.25 дюйма) |
|
Занимаемая площадь |
Примерно 2.5 × 2.5 м (зависит от конфигурации) |
Ключевые особенности
- i-line экспонирование (365 нм)
Система использует ртутную лампу i-line для засветки фоторезиста на пластинах. Оптимизирована для процессов, требующих разрешения до 0.35 мкм, что подходит для устройств с критическими размерами в субмикронном диапазоне.
- Высокая точность совмещения
Степпер оснащен усовершенствованной системой совмещения Canon, обеспечивающей точность ≤ 70 нм, что гарантирует правильное совмещение слоев при многослойной литографии.
- Аэростатический стол
- Автоматическая фокусировка и выравнивание
Встроенные системы автофокуса и автовыравнивания поддерживают оптимальные условия экспонирования по всей поверхности пластины, компенсируя ее коробление и вариации толщины.
Производство: Япония
JoomShopping Download & Support