Технические характеристики
|
Рабочий размер |
ψ200мм~300мм |
|
Размер |
9 или 14 Кварцевый или известково-натриевый |
|
Лампа |
1.89 кВт |
|
Диапазон длин волн |
365 нм / ч, линия 400 нм, линия 436 нм |
|
Интенсивность света |
> 15 мВт / см2 на основе 365 нм |
|
Однородность светового потока |
< 5% |
|
Эффективная площадь экспозиции |
Макс. 300 мм х 300 мм |
|
Компенсационное выравнивание |
Автоматически |
|
Система выравнивания |
По CCD, управляемый ручной метод |
|
Точность выравнивания： |
±3 мкм (12") |
|
Системный контроль |
База ПК |
|
Опции |
Режущий фильтр Функция суммирования светового потока Измеритель мощности Система выравнивания нижней стороны |
|
Антивибрационный стол |
Да |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
ELS112SA |
По запросу |
JoomShopping Download & Support