Система термического выпаривания Four sources - это компактная система термического выпаривания с четырьмя тиглями-источниками выпаривания и точным программируемым контролем температуры. Четыре выпарных тигля можно было бы использовать для осаждения множества различных материалов для выращивания многослойных пленок один за другим в атмосфере одной и той же камеры.
Технические характеристики
Система термического испарения с четырьмя источниками подходит для нанесения пленки на большинство металлических и органических материалов размером до 2 дюймов при температуре от 200 ° C до 1500 °C (или от 200 ° C до 1700 ° C с дополнительной термопарой типа В).Устройство для отбора проб можно поворачивать для получения более однородной пленки.Система испарения имеет небольшие размеры, что позволяет эффективно экономить пространство лаборатории; она проста в эксплуатации и обладает высокой адаптивностью к различным материалам, поэтому широко используется в лабораториях университетов и научно-исследовательских институтов.
Основные характеристики
- Кварцевая камера диаметром 280 мм × 260 мм × 310 мм для легкой очистки и загрузки образцов
- Вращающиеся источники испарения диаметром 2,2 дюйма для равномерного пленочного покрытия
- Нагреватель вольфрамовой катушки и глиноземный тигель для высокотемпературного нанесения покрытий, выдерживающих температуру до 1700 ºC
- Прецизионный контроль температуры с 30 программируемыми сегментами и точностью +/- 1 ºC
- С помощью дополнительного турбонасоса может быть достигнут высокий вакуум до 1,0 E-5 Торр
- Отверстие для подачи газа и клапан встроены для продувки камеры и возможности CVD
Технические параметры
|
Входная мощность |
Входное напряжение: переменный ток 208-240 В 50/60 Гц, однофазный (110 В переменного тока доступно через трансформатор мощностью 1500 Вт) Потребляемая мощность: 1200 Вт выходная мощность: 12 В и максимальный ток 30 А. Рекомендуемый рабочий ток <30 А Кабель питания входит в комплект поставки без вилки |
|
Контроль температуры и нагреватели |
Четыре тигля для выпаривания оксида алюминия вместимостью по 3 мл каждый. Четыре источника не могут использоваться одновременно. Нанесение нескольких слоев будет производиться один за другим. Вольфрамовый спиральный нагреватель с термопарой встроен в дно глиноземного тигля (для контроля температуры). Стандартная термопара типа S (входит в комплект и устанавливается) - нагрев от 200℃ до 1500℃ Дополнительная термопара типа B (за дополнительную плату) - нагрев от 1200℃до 1700℃ Цифровой регулятор температуры с 30 программируемых сегментов и +/- 1℃ точность. Время настройки регулятора температуры указано в секундах. Рекомендуется ограничить скорость нагрева/охлаждения температурой 0,3℃/с (или 20до 1700℃ Для непрерывного нагрева выше 1300℃, пожалуйста, ограничьте время работы менее чем 1 часом, чтобы сохранить срок службы уплотнительного кольца нижнего фланца Для быстрого нанесения покрытия до 2000℃, например, при нанесении углеродного покрытия, пользователь может снять термопару, глиноземный термоблок и глиноземный тигель, загрузить испаряемый материал непосредственно в нагреватель с вольфрамовой катушкой и использовать текущий режим ручного управления. В комплект поставки входятчетыре глиноземных тигля (до 1700℃) и два вольфрамовых спиральных нагревателя. |
|
Вращающийся держатель для образцов |
Один из них диаметром 50 мм. поворотный стенд для отбора проб и его заслонка установлены на верхнем фланце. Скорость вращения: 5 об/мин Расстояние от держателя образца до источника испарения регулируется от 40 мм до 85 мм. |
|
Вакуум |
Вакуумный порт KF25 установлен для подключения к вакуумному насосу Максимальный вакуум может достигать <1-5 Торр при откачке в течение ночи дополнительным турбомолекулярным насосом Для нанесения покрытия требуется вакуумный насос. Пожалуйста, выберите один из следующих вариантов продукта Двухступенчатый роторно-лопастной вакуумный насос с улавливателем пара для удаления масляного тумана, который может создавать вакуум до 1,0 E-2 Торр для испарения благородных металлических материалов, таких как золото, серебро и органические материалы. В комплект входит мембранный датчик антикоррозионной емкости Компактная турбомолекулярная вакуумная насосная система способна обеспечивать уровень вакуума до 1,0 E-5 Торр для испарения материалов, чувствительных к кислороду, таких как Al. Mg, Li и др. В комплект поставки насоса входят комбинированный датчик Pirani и датчик с холодным катодом для измерения вакуума до 1,0 E-8 Торр |
|
Вход газа |
Для продувки камеры или процесса формования газаing встроен фитинг с трубкой 1/4 Для регулирования расхода газа встроен один игольчатый клапан |
|
Размер кварцевой камеры |
Наружный диаметр: 280 мм (11 дюймов), внутренний диаметр: 260 мм (10,2 дюйма), длина: 310 мм (12,2 дюйма) |
|
Гарантия |
Ограниченная гарантия на один год с пожизненной поддержкой |
|
Масса нетто |
80 кг |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Four sources thermal evaporating system with precision temperature controller
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support