5-дюймовая вращающаяся испарительная печь для нанесения покрытий ближнего действия специально разработана для экспериментов по термическому испарению или CSS (сублимации с близким расстоянием).Площадь его покрытия может достигать 5 "×5", а верхнюю ступень для отбора образцов можно поворачивать для улучшения однородности покрытия.
Технические характеристики
5-дюймовая роторно-выпарная печь ближнего действия для нанесения покрытий представляет собой печь для быстрой термической обработки с 11-дюймовой кварцевой камерой IDD. Предназначена для термического испарения или CSS (сублимации с близким расстоянием) пленочного покрытия диаметром до 5 дюймов. круглые образцы и температура 800°C Макс. Печь нагревается двумя группами галогенных нагревателей (сверху и снизу) по отдельности с максимальной скоростью нагрева 10 ℃ / с. В нее встроены два 30-сегментных прецизионных регулятора температуры с точностью +/-1ºC. Порт RS485 и управляющее программное обеспечение включены в комплект поставки, что позволяет управлять печью и регистрировать температурный профиль через ПК. Это отличный инструмент для исследования тонких пленок нового поколения для солнечных элементов, таких как CdTe, сульфидные и перовскитные солнечные элементы.
Технические параметры
|
Конструкция печи и вакуумная камера |
Два регулятора температуры. Камера изготовлена из трубки из плавленого кварца высокой чистоты. Размер кварцевой трубки: 11 "OD/10,8 "ID×9 " H Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316. |
|
Вакуумные фланцы |
Верхний фланец с одним вакуумным отверстием KFD-25 и одним выпуском газа (требуется труба 1/4 дюйма) можно поднимать или опускать вручную, чтобы легко загружать и выгружать подложку и выпариваемый материал. На нижнем фланце имеется одно вакуумное отверстие KFD-25 с одним входом для газа (требуется труба 1/4 дюйма) с игольчатыми клапанами. Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может достигать макс. давление вакуума составляет 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос в комплект не входит, заказывайте отдельно). На верхнем фланце установлен один цифровой вакуумметр. Прецизионный антикоррозийный цифровой вакуумметр входит в стандартную комплектацию. |
|
Регулирование расхода газа |
Газовый смеситель, встроенный в два поплавковых счетчика с регулируемыми диапазонами измерения 16-160 мл /м |
|
Нагреватель и держатель для образцов |
Два независимо управляемых нагревателя с регулируемым вручную зазором от 2 до 30 мм. В качестве нагревательного элемента для быстрой термической обработки используются 20 шт галогенных ламп. Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной рубашкой холодного охлаждения для уменьшения теплового излучения и обеспечения быстрого охлаждения. 5" Dia. круглый держатель для пластин встроен в верхний нагреватель для удержания подложки. В комплект входит один комплект пластин с высокой теплопроводностью из AlN или графита (диаметр 5 дюймов×толщина 0,5 мм) (место на дне для выпаривания материала) Для экономии воды в комплект поставки входит охладитель циркулирующей воды объемом 58 л/мин |
|
Регулятор температуры |
Два прецизионных цифровых регулятора температуры с программируемыми 30 сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями. Каждый контроллер оснащен функцией автоматической настройки PID для защиты нагревателей от перерегулирования и функцией сигнализации во избежание перегрева и поломки термопары. Для записи профиля температуры установлен коммуникационный интерфейс ПК и программное обеспечение. |
|
Рабочая температура |
Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 800℃. Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300℃, зависит от расстояния между двумя нагревателями:,, Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315℃ только для нагревательного днища, но не более, чем на 5-дюймовом расстоянии |
|
Скорость потребления и охлаждения |
Нагрев: < 8℃/с (только для нагрева одним нагревателем) Охлаждение: < 10℃/с (600-100℃) Макс. |
|
Тепловая пара |
Две тепловые пары типа K установлены отдельно на верхнем и нижнем нагревателях. |
|
Рабочее напряжение |
Требуется 220 В переменного тока, однофазный, 60А воздушный выключатель |
|
Потребляемая мощность |
Общая мощность 9,5 кВт |
|
Размеры |
1085 мм L × 680 мм W × 1710 мм H |
|
Гарантия |
Срок службы ограничен одним годом (гарантия на расходные детали, такие как кварцевые трубки и нагревательные лампы, не распространяется). |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
5-inch close-range rotary evaporation coating furnace
|
По запросу |
JoomShopping Download & Support