Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением - это специальный лабораторный прибор для нанесения покрытий, разработанный нашей компанией. Оборудование может быть оснащено источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения магнетронного напыления - это специальный лабораторный инструмент для нанесения покрытий, разработанный нашей компанией. Оборудование может быть оснащено источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Его можно использовать для получения одно- или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Магнетронная мишень оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать накопление тепла на поверхности мишени, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.
Благодаря компактному дизайну достигается баланс объема и производительности, красивый внешний вид и универсальность функций. Вся машина управляется с помощью сенсорного экрана и встроенной программы нанесения одной кнопкой, которая проста в эксплуатации и является идеальным оборудованием для получения тонких пленок в лаборатории.
Технические параметры
|
Источник питания |
AC220V,50 Гц |
|
|
Полная мощность |
6 кВт |
|
|
Максимальный вакуум |
5x10-4Па |
|
|
Параметры таблицы образцов |
Размер |
φ150 мм |
|
Температура нагрева |
500 ℃ макс. |
|
|
Контроль температуры |
±1℃ |
|
|
Скорость вращения |
регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Параметры магнетронной напыляющей головки |
Количество |
2-дюймовый x2 |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение, требуется расход 10л/мин |
|
|
Охладитель воды |
10Л/мин Охлаждение циркулирующей водой |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
φ300 мм x 340 мм H |
|
Материал |
SUS |
|
|
Окно наблюдения |
φ100 мм |
|
|
Режим открытия |
открытый тип, легко заменяемая мишень |
|
|
Регулятор расхода газа |
Одноканальный, 200 см Ar; |
|
|
Вакуумный насос |
Молекулярная насосная система, перекачивающая 600 л/С |
|
|
Кварцевый вибрирующий толщиномер пленки |
Один комплект, разрешение 0,10 ангстрема |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник радиочастотного питания: 500 Вт, подходит для получения неметаллических пленок |
|
|
Режим работы |
Управление компьютером "все в одном" |
|
|
Габаритные размеры |
1090 мм x 900 мм x 1250 мм |
|
|
Общий вес |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-RF |
По запросу |
JoomShopping Download & Support