Одноцелевой магнетронный распылитель постоянного тока

Устройство для нанесения покрытия магнетронным распылением постоянного тока с одной мишенью может использоваться для получения однослойных сегнетоэлектрических пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов и т.д. По сравнению с аналогичным оборудованием этот прибор для нанесения покрытий методом магнетронного распыления с одной мишенью не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторного приготовления тонких пленок материалов и особенно подходит для лабораторных исследований твердых электролитов, OLED и т.д.

Технические характеристики

Установка для нанесения покрытий с помощью магнетрона постоянного тока с одной целью - это экономичное оборудование для нанесения покрытий с помощью магнетронного распыления, независимо исследованное и разработанное нашей компанией. Оно обладает характеристиками стандартизации, модульности и индивидуализации. Магнетронные мишени могут быть выбраны размером от 1 дюйма, 2 дюймов и 3 дюймов, и клиенты могут выбирать в зависимости от размера покрываемой подложки; Источником питания является мощный источник постоянного тока мощностью 1500 Вт, который может использоваться для нанесения покрытия напылением металла с высокой энергией. В соответствии с требованиями эксперимента, для нанесения покрытий на различные материалы также могут быть выбраны источники постоянного или радиочастотного питания других спецификаций.

Прибор для нанесения покрытия оснащен двумя высокоточными массовыми расходомерами, и заказчики могут настроить газовый тракт до четырех массовых расходомеров, если у них есть другие требования для удовлетворения требований сложной конструкции газовой среды; Прибор оснащен усовершенствованным турбомолекулярным насосом, входящим в стандартную комплектацию, а максимальный вакуум может достигать 1,0 E-5Pa. В то же время можно приобрести молекулярные насосы других типов. Газовый тракт молекулярного насоса контролируется несколькими электромагнитными клапанами, которые могут открывать полость для отбора проб без выключения насоса, что значительно повышает эффективность вашей работы. Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным управляющим компьютером для управления системой. Компьютерная программа может реализовать большинство функций, таких как управление группой вакуумных насосов и блоком питания для распыления, что может еще больше повысить эффективность вашего эксперимента.

Область применения одноцелевого магнетронного напыляющего устройства

Устройство для одноцелевого магнетронного распыления постоянного тока может использоваться для получения однослойных сегнетоэлектрических пленок, токопроводящих пленок, пленок из сплавов и т.д. По сравнению с аналогичным оборудованием этот одноцелевой магнетронный распылитель для нанесения покрытий не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты эксплуатации. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки тонких пленок материалов и особенно подходит для лабораторных исследований твердых электролитов, OLED и т.д.

Технические параметры одноцелевой машины для магнетронного распыления постоянного тока