Небольшой настольный одноцелевой аппарат для нанесения покрытий магнетронным напылением постоянного тока - это экономичное оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией. Он обладает характеристиками миниатюризации и стандартизации.
Технические характеристики
Головка для магнетронного распыления постоянного тока имеет размеры 1 дюйм и 2 дюйма на выбор. Клиенты могут выбрать мишень в зависимости от размера покрываемой подложки. Устройство оснащено источником питания постоянного тока мощностью 150 Вт, который можно использовать для нанесения напыления на металл. Машина для нанесения покрытия оснащена впускным отверстием для подачи защитного газа. Если заказчику требуются смешанные газы, можно связаться с персоналом для настройки высокоточного массового расходомера в соответствии с экспериментальными потребностями. Прибор оснащен усовершенствованным турбомолекулярным насосом, максимальный вакуум составляет до 1,0 E-5pa, также доступны другие типы молекулярных насосов.
Применение малогабаритной настольной одноцелевой машины для магнетронного распыления постоянного тока:
Устройство может использоваться для получения однослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, токопроводящих пленок, пленок из сплавов и так далее. По сравнению с аналогичным оборудованием, одноцелевая машина для магнетронного распыления компактна, высокоинтегрирована и имеет небольшие размеры, ее можно разместить на рабочем столе. Это идеальное оборудование для лабораторной подготовки пленок материалов.
Технические параметры
|
Этап отбора проб |
Размер |
φ138 мм |
|
Температура нагрева |
Макс 500℃ |
|
|
Точность измерения температуры |
±1℃ |
|
|
Частота вращения |
Регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Магнетронная распылительная головка |
Количество |
2 ”×1 (1 ”, 2 ” опционально) |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение |
|
|
Охладитель воды |
Охладитель циркулирующей воды с расходом 10л/мин |
|
|
Вакуумная камера |
Размер камеры |
φ180 мм ×215 мм |
|
Материал камеры |
Кварц высокой чистоты |
|
|
Окно для наблюдения |
Полностью прозрачная |
|
|
Режим открытия |
Верхняя крышка съемная |
|
|
Массовый расходомер |
2 канала; диапазон измерения 100 см; 100 см (может быть настроен в соответствии с потребностями заказчика) |
|
|
Вакуумная система |
Модель |
CY-GZK103-A |
|
Молекулярный насос |
CY-600 |
|
|
Подпорный насос |
Роторно-лопастной насос |
|
|
Максимальный вакуум |
1,0E-5Pa |
|
|
Интерфейс накачки |
KF40 |
|
|
Интерфейс выпуска |
KF16 |
|
|
Измерение вакуума |
Составной вакуумметр |
|
|
Источник питания |
Переменный ток; 220 В 50/60 Гц |
|
|
Скорость откачки |
Молекулярный насос: 600 л/с роторно-лопастной насос: 1,1 л/с Высокая производительность при откачке газа: разрежение до 1,0 E-3Pa за 20 минут |
|
|
Конфигурация мощности |
Количество |
Источник питания постоянного тока × 1 |
|
Максимальная выходная мощность |
150 Вт |
|
|
Другие параметры |
Напряжение питания |
220 В переменного тока, 50 Гц |
|
Общая мощность |
1,7 кВт (вакуумный насос 1,5 кВт + машина 0,2 кВт) |
|
|
Габаритные размеры |
500 мм × 350 мм × 400 мм |
|
|
Общий вес |
Около 30 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP180G-DG |
По запросу |
JoomShopping Download & Support