Устройство для нанесения магнетронного покрытия с одним источником распыления - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий, разработанная нашей компанией. Оборудование может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения покрытий магнетронным распылением - это специальная лабораторная машина для нанесения покрытий, разработанная нашей компанией. Оборудование может быть оснащено источником питания постоянного тока и радиочастотным источником питания. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Его можно использовать для получения одно- или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Магнетронная мишень оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать накопление тепла на поверхности мишени, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.
Благодаря компактному дизайну достигается баланс объема и производительности, красивый внешний вид и широкие функциональные возможности. Вся машина управляется с помощью сенсорного экрана и встроенной программы нанесения покрытия одной кнопкой, которая проста в эксплуатации и является идеальным оборудованием для получения тонких пленок в лаборатории.
Технические параметры
|
Источник питания |
AC220V,50 Гц |
|
|
Полная мощность |
6 кВт |
|
|
Максимальный вакуум |
5x10-4Па |
|
|
Параметры таблицы образцов |
Размер |
φ150 мм |
|
Температура нагрева |
500 ℃ макс. |
|
|
Контроль температуры |
±1℃ |
|
|
Скорость вращения |
Регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Параметры магнетронной распылительной головки |
Количество |
Размер: 2 дюйма x1 |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение, требуется расход 10Л/мин |
|
|
Охладитель воды |
10Л/мин Охлаждение циркулирующей водой |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
φ300mm x 340mm H |
|
Материал |
SUS |
|
|
Окно наблюдения |
φ100 мм |
|
|
Режим открытия |
открытый тип, легко заменяемая мишень |
|
|
Регулятор расхода газа |
Одноканальный, 200 см Ar; |
|
|
Вакуумный насос |
Система молекулярного насоса, перекачивающая 600Л/С |
|
|
Кварцевый вибрирующий толщиномер пленки |
Один комплект, разрешение 0,10 ангстрем |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник питания постоянного тока: 500 Вт, подходит для получения металлических пленок |
|
|
Режим работы |
Универсальное компьютерное управление |
|
|
Габаритные размеры |
1090 мм x 900 мм x 1250 мм |
|
|
Общий вес |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-DC |
По запросу |
JoomShopping Download & Support