Оборудование для нанесения покрытий магнетронным напылением - это специальная лабораторная лакировочная машина, разработанная нашей компанией. Оборудование для нанесения покрытий магнетронным распылением может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения магнетронного напыления представляет собой специальную лабораторную машину для нанесения покрытий, разработанную нашей компанией. Оборудование для нанесения магнетронного напыления может быть оснащено источником питания постоянного тока и источником радиочастотного питания. Мощность варьируется от 500 Вт до 1000 Вт. Его можно использовать для получения одно- или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок и т.д.
По сравнению с обычным плазменным напылением, магнетронное напыление обладает преимуществами высокой энергии, высокой скорости, высокой скорости осаждения и низкого повышения температуры образца. Магнетронная мишень оснащена промежуточным слоем с водяным охлаждением. Охладитель воды может эффективно отводить тепло и предотвращать накопление тепла на поверхности объекта, благодаря чему магнетронное покрытие может стабильно работать в течение длительного времени.
Благодаря компактному дизайну достигается баланс объема и производительности, красивый внешний вид и широкие функциональные возможности. Вся машина управляется с помощью сенсорного экрана и встроенной программы нанесения покрытия одной кнопкой, которая проста в эксплуатации и является идеальным оборудованием для получения тонких пленок в лаборатории.
Технические параметры
|
Источник питания |
220в,50 Гц |
|
|
Полная мощность |
6 кВт |
|
|
Максимальный вакуум |
5x10-4Па |
|
|
Параметры таблицы образцов |
Размер |
φ150 мм |
|
Температура нагрева |
500 ℃ макс. |
|
|
Контроль температуры |
±1℃ |
|
|
Скорость вращения |
регулируется от 1 до 20 оборотов в минуту |
|
|
Параметры магнетронной распылительной головки |
Количество |
Размер: 2 дюйма x2 |
|
Режим охлаждения |
Водяное охлаждение, требуется расход 10л/мин |
|
|
Охладитель воды |
10Л/мин циркуляционным водяным охлаждением |
|
|
Вакуумная камера |
Размер |
φ300 мм x 340 мм H |
|
Материал |
SUS |
|
|
Окно наблюдения |
φ100 мм |
|
|
Режим открытия |
открытый тип, легко заменяемый |
|
|
Регулятор расхода газа |
Одноканальный, 200 см Ar; |
|
|
Вакуумный насос |
Молекулярная насосная система, перекачивающая 600 л/с |
|
|
Кварцевый вибрационный толщиномер пленки |
Один комплект, разрешение 0,10 ангстрем |
|
|
Источник питания для распыления |
Источник радиочастотного питания: 500 Вт x2, подходит для получения неметаллических пленок |
|
|
Режим работы |
Универсальное компьютерное управление |
|
|
Габаритные размеры |
1090 мм x 900 мм x 1250 мм |
|
|
Общий вес |
350 кг |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP300S-2RF |
По запросу |
JoomShopping Download & Support