Двухцелевой радиочастотный магнетронный распылитель с двумя датчиками толщины пленки CY-MSP300S-2RF-2FG

Устройство для нанесения покрытий с двухцелевым радиочастотным магнетронным напылением - это экономичное оборудование для нанесения покрытий с магнетронным напылением, независимо разработанное нашей компанией. Он стандартизирован, модульный и настраиваемый. На ваш выбор доступны 1-дюймовые или 2-дюймовые магнетронные мишени. Клиенты могут выбрать целевую головку в соответствии с размером покрываемой подложки.

Технические характеристики

Двухцелевой радиочастотный магнетронный распылитель оснащен двумя источниками радиочастотного питания мощностью 300 Вт. Радиочастотный источник питания можно использовать для получения неметаллических пленок. Эти две мишени могут удовлетворить потребности в многослойных покрытиях. Если у клиентов есть другие потребности в покрытии, можно настроить источник радиочастотного и импульсного питания. Доступны различные типы источников питания мощностью от 300 до 1000 Вт с различными техническими характеристиками.

Машина для нанесения покрытия оснащена двухканальным высокоточным массовым расходомером. Если у клиентов есть другие требования, газовый канал от до четырехканального массового расходомера может быть настроен в соответствии со сложными требованиями к газовой среде. Прибор оснащен усовершенствованной группой турбомолекулярных насосов, а максимальный вакуум составляет до 1,0 E-5Pa, также можно приобрести другие типы молекулярных насосов.

Кроме того, эта машина оснащена двумя высокоточными датчиками толщины пленки, которые могут соответствовать требованиям к определению толщины пленки в процессе нанесения покрытия. Если заказчикам необходимо установить несколько датчиков толщины пленки, вы также можете обратиться к нашему техническому персоналу для настройки.

Данное изделие может быть оснащено встроенным промышленным компьютером для управления системой. В компьютерной программе могут быть реализованы большинство функций, таких как управление вакуумным насосом и регулировка мощности распыления, что может еще больше повысить эффективность ваших экспериментов.

Применение двухцелевого радиочастотного магнетронного распылителя

Это устройство может использоваться для получения однослойных или многослойных сегнетоэлектрических тонких пленок, проводящих пленок, пленок из сплавов, полупроводниковых пленок, керамических пленок, диэлектрических пленок, оптических пленок, оксидных пленок, твердых пленок, пленок из ПТФЭ и тому подобного. По сравнению с аналогичным оборудованием двухцелевой магнетронный напыляющий аппарат не только широко используется, но и обладает преимуществами небольшого размера и простоты в эксплуатации и является идеальным оборудованием для подготовки пленок материалов в лаборатории.

Технические параметры