Это оборудование представляет собой прибор для нанесения покрытий с помощью магнетронного напыления с одной мишенью, который может использоваться для получения обычных металлических тонких пленок. В то же время оборудование оснащено источником питания смещения, который может использоваться для очистки плазмы перед распылением и создания смещения во время распыления.
Технические характеристики
Данное оборудование представляет собой одноцелевую машину для магнетронного распыления, которая может использоваться для получения обычных металлических тонких пленок. В то же время оборудование оснащено источником питания смещения, который можно использовать для очистки плазмой перед распылением и создания смещения во время распыления.
Настройка структуры одноцелевого магнетронного распылителя
Эта одноцелевая машина для магнетронного напыления для нанесения покрытий оснащена высоковакуумной полостью из нержавеющей стали, полость оснащена кварцевым смотровым окошком, за которым легко наблюдать и записывать эксперимент; Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшой формой делает ее очень подходящей для лабораторного использования. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для отбора проб, который может эффективно улучшить однородность пленки и качество пленки. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы, интуитивно понятный интерфейс управления, прост в запуске.
Технические параметры
|
Название продукта |
Настольная одноцелевая магнетронная машина для нанесения покрытий с напряжением смещения |
|
Модель продукта |
CY-MSP180G-1T-B (Напряжение в режиме, не требующем смещения) |
|
Условия установки |
, Температура рабочей среды: 251℃± 15℃,влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной； 2, Источник питания оборудования:220В, 50 Гц, должен быть хорошо заземлен； 3, Номинальная мощность:1000 Вт； 4, Газовое оборудование：Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5, Требования к размерам стола: 600 мм × 600 мм × 850 мм,несущая способность ≥ 50 кг； 6. Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
Технические показатели |
1, Источник питания для распыления:Источник питания постоянного тока 300 Вт;максимальное выходное напряжение 600 В, 2、 Магнетронная мишень:2-дюймовая балансировочная мишень,перегородка с магнитной муфтой; 3、 Источник питания смещения: выходное напряжение <1000 В, тип: высокочастотный импульсный источник питания постоянного тока 4、 Подходящий материал мишени： толщиной 50 мм x 3 мм,, 5、 полости размер ：вне diameter194,внутри diameter186mm х высота 230 мм 6、 Материал нержавеющая сталь 304, ,,, 7、 Вращающийся нагревательный стол для образцов：скорость вращения 1 ~ 20 об /мин регулируется плавно;максимальная температура нагрева 500℃,самая низкая рекомендуемая скорость нагрева 10℃/мин,самая высокая рекомендуемая скорость нагрева 20℃/мин. 8、 Режим для магнитной мишени и молекулярного насоса требуется охладитель циркулирующей воды - охладитель для воды 9, Машина для водяного охлаждения：объем бака 9 л,скорость потока 10 л / мин 10、 Система подачи газа：массовый расходомер, тип газа Аргон,расход 1 ~ 30 мкм(настраиваемый) 11, Точность расходомера ：Диапазон измерения ±1,5%. 12、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере KF25 13、 Интерфейс воздухозаборника представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 14、 Сенсорный экран-цветной сенсорный экран 7 дюймов 15, Регулируемый ток распыления,можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 16、 защита от перегрузки по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления 17、 Максимальный вакуум：5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос); 18、 вакуумные измерения Парана вакуумметра ，ассортимент：1～105па |
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1. При магнетронном распылении создается высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2Па, и его необходимо использовать с молекулярным насосом. 2. Для достижения высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру следует очистить не менее 3 раз инертным газом высокой чистоты. 3. Магнетронное распыление чувствительно к забору воздуха, поэтому для контроля забора воздуха необходим массовый расходомер |
|
Дополнительный аксессуар |
|
|
Контроль толщины пленки |
1, Разрешение толщины пленки:0,0136Å(алюминий) 2, Точность определения толщины пленки ：± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3,Скорость вращения：100 мс-1 С/раз，диапазон измерения может быть установлен ：500000Å（алюминиевый） 4, Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5, подходит для частоты пластин：6 МГц подходит для размеров пластин：Φ14 мм монтажный фланец：CF35 |
|
Еще один аксессуар |
· 1, комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60(включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) двухполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4 2 вакуумных сильфона KF25; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40 3, Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
CY-MSP180G-1T-B |
По запросу |
JoomShopping Download & Support