Настольный одноцелевой магнетронный распылитель с радиочастотным источником питания - это настольный одноцелевой магнетронный распылитель для нанесения покрытий, его можно использовать при получении металлической пленки, а также в электронных областях, оптических полях, специальной области подготовки керамики, его, безусловно, можно использовать при подготовке образцов СЭМ в лаборатории.
Технические характеристики
Настольная одноцелевая магнетронная машина для нанесения покрытий с радиочастотным источником питания - это настольная одноцелевая машина для магнетронного распыления, предназначенная для нанесения покрытий на металлическую пленку, а также используемая в электронных областях, оптических областях, специальной области получения керамики, она, безусловно, может быть использована при подготовке образцов SEM в лаборатории.。 Эта модель оснащена радиочастотным источником питания, особенно подходящим для нанесения покрытий на неметаллические или другие непроводящие материалы.
Настройка структуры настольной одноцелевой магнетронной машины для нанесения покрытия
Этот набор оснащен высоковакуумной полостью из нержавеющей стали, полость оснащена кварцевым смотровым окошком, за которым легко наблюдать и записывать эксперимент; Конструкция полости с отличными вакуумными характеристиками и небольшой формой делает ее очень подходящей для лабораторного использования. В то же время оборудование оснащено вращающимся нагревательным столом для отбора проб, который может эффективно улучшить однородность пленки и качество пленки. Машина имеет модульную конструкцию, простую логику работы, интуитивно понятный интерфейс управления, прост в запуске.
Технические параметры
|
Название продукта |
Настольный одноцелевой магнетронный коатер с радиочастотным источником питания |
|
|
Модель продукта |
CY-MSP190S-1T-RF |
|
|
Условия установки |
1, Температура рабочей среды: 25℃ ± 15℃,влажность: 55% относительной влажности ± 10% относительной; 2, Источник питания оборудования:220В50 Гц, должен быть хорошо заземлен; 3, Номинальная мощность:1500 Вт; 4, Газовое оборудование：Камера оборудования должна быть заполнена газообразным аргоном для очистки. Заказчик должен подготовить газообразный аргон чистотой ≥99,99%. 5, Требования к размеру стола: 600 мм × 600 мм × 700 мм, несущая способность ≥ 80 кг; 6. Помещение должно хорошо проветриваться и охлаждаться. |
|
|
Технические показатели |
1, Источник питания для распыления: источник питания постоянного тока 300 Вт; максимальное выходное напряжение 600 В, ограниченный выходной ток 500 мА 2, Магнетронная мишень：2-дюймовая балансировочная мишень, перегородка с магнитной муфтой; 3、 Подходящий материал мишени： толщиной 50 мм x 3 мм 4、 полости размер ：вне diameter194,внутри diameter186mm х высота 230 мм 5, Материал нержавеющая сталь 304, , 6、 Вращающийся нагревательный стол для образцов：скорость вращения 1 ~ 20 об / мин регулируется плавно; максимальная температура нагрева 500℃,самая низкая рекомендуемая скорость нагрева 10℃/ мин, самая высокая рекомендуемая скорость нагрева 20℃/ мин. 7, Режим магнитная мишень и молекулярный насос требуют охлаждения циркулирующей воды, и для этого требуется охладитель для воды с циркуляцией 8, Машина для водяного охлаждения：объем бака 9 л, скорость потока 10 л / мин 9, Система подачи газа：массовый расходомер, тип газа Аргон, расход 1 ~ 30 см(настраиваемый) 10, Точность расходомера ： Диапазон измерения ± 1,5%. 11、 Интерфейс нагнетания воздуха в вакуумной камере KF25 12, Интерфейс воздухозаборника представляет собой соединение с двойным наконечником 1/4 дюйма 13, Сенсорный экран - 7-дюймовый цветной сенсорный экран 14, Регулируемый ток распыления, можно установить значение безопасного тока распыления и значение безопасного вакуума; 15、 защита от перегрузки по току, слишком низкий вакуум автоматически отключают ток распыления 16、 Максимальный вакуум：5E-4Pa (соответствующий молекулярный насос); 17Измерение вакуума производится вакуумметром Parana, диапазон составляет:1~105 па |
|
|
УВЕДОМЛЕНИЕ |
1. При магнетронном распылении создается высокий рабочий вакуум, обычно в пределах 2 па, и его необходимо использовать с молекулярным насосом. 2. Для достижения высокого уровня бескислородной среды вакуумную камеру следует очистить не менее 3 раз инертным газом высокой чистоты. 3. Магнетронное распыление чувствительно к забору воздуха, поэтому для контроля забора воздуха необходим массовый расходомер |
|
|
Дополнительный аксессуар |
||
|
Монитор толщины пленки |
1, Разрешение толщины пленки:0,0136Å(алюминий) 2, Точность определения толщины пленки ：± 0,5%,это зависит от условий процесса, особенно положения датчика, напряжения материала, температуры и плотности 3,Скорость вращения：100 мс-1 С/раз，диапазон измерения может быть установлен ：500000Å（алюминиевый） 4, Стандартный сенсорный кристалл：6 МГц 5, подходит для частоты пластин：6 МГц подходит для размеров пластин：Φ14 мм： монтажный фланец：CF35 |
|
|
Еще один аксессуар |
1, комплект высокоэффективных молекулярных насосов серии CY-CZK103 (включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 105 па) Комплект малых молекулярных насосов серии CY-GZK60(включая составной вакуумметр, диапазон измерения 10-5 па ~ 102 па) Биполярный роторно-лопастной вакуумный насос VRD-4 2 вакуумных сильфона KF25; Длина может составлять 0,5 м, 1 м или 1,5 м. Зажимной кронштейн KF40 3, Кварцевый генератор для измерения толщины пленки; |
|
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
|
CY-MSP190S-1T-RF |
По запросу |
|
JoomShopping Download & Support