Технические характеристики
Использование продукта: используется в полупроводниковых и пан-полупроводниковых процессах, таких как низкотемпературная сушка, сушка, удаление воды, отверждение и удаление связующих в вакуумной среде.
Характеристики продукта:
- Интегрированная человеко-машинная операционная система, непрерывное автоматизированное производство, высокая эффективность работы, экономия затрат на рабочую силу, электроэнергию и время процесса.
- Керамический ребристый нагреватель, окружающий обогрев в форме кольца.
- Максимальная степень вакуума: ≤10 Па; опционально (индекс содержания кислорода: ≤50 ppm при нормальной температуре; ≤30 ppm при высокой температуре).
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры:
|
Обращение с продуктами |
8/12-дюймовая пластина |
Пропускная способность |
50 шт./туба 26 шт./туба |
|||||||
|
Обогреватель |
Керамический ребристый нагреватель, окружающий обогрев в форме кольца |
|||||||||
|
Порт подачи
|
2/3/4 |
Манипулятор |
1/2 |
|||||||
|
Температурный диапазон |
Температура длительного использования: 300℃, максимальная температура: 350℃. |
|||||||||
|
Скорость нагрева |
<8℃/мин |
Скорость охлаждения |
<3℃/мин |
|||||||
|
Мощность нагрева |
13кВт (одна печь) |
Температурная зона нагрева |
4 |
|||||||
|
Равномерность температуры печи |
±2%℃ (постоянная температура 200℃) |
Термопара контроля температуры |
К выпускной |
|||||||
|
Метод контроля температуры |
SSR |
Программное управление |
P.I.D.-регулятор |
|||||||
|
Контроль атмосферы |
Многоканальный расходомер регулирует диапазон измерения входного расхода: 0–150 л/мин. |
Атмосфера |
N2 |
|||||||
|
Выхлопная система |
Установите вытяжную трубу вверху для выброса и утилизации отходящих газов. |
|||||||||
Система управления:
- Человеко-машинный интерфейс использует режим сенсорного экрана.
- Основной контроллер использует встроенный контроллер.
- Защита от перегрева является независимым устройством обнаружения.
- С функцией определения содержания кислорода
- Управление движением представляет собой серво/шаговый блок управления.
- Transmission — профессиональный робот для переноса пластин.
- Программное обеспечение имеет функции: контроль температуры, контроль атмосферы, редактирование процесса, запись данных и отображение диаграмм.
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вакуумная вертикальная печь. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support