Технические характеристики
Использование продукта: Вафли, ориентированные в вакууме, и сегменты современной упаковки используются для низкотемпературной выпечки, сушки и удаления воды.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Модель |
TASZ3050D203-N |
TASZ3050D403-N |
||||||||
|
Функции |
Он может быть оснащен системой OHT для реализации беспилотной работы и экономии места. Низкотемпературная выпечка в вакууме сокращает время процесса и улучшает защиту продукта и его производительность. |
|||||||||
|
Содержание кислорода |
50 страниц в минуту |
Температура процесса |
Комнатная температура +30-300℃ |
|||||||
|
Характеристики продукта |
8/12-дюймовая пластина |
Количество хранения |
50 шт./трубка |
|||||||
|
Обогреватель |
Резистивный нагрев |
|||||||||
|
Порт подачи |
2 |
Манипулятор |
1 |
|||||||
|
Температурный диапазон |
Температура длительного использования: 200℃, максимальная температура: 300℃. |
|||||||||
|
Скорость нагрева |
1~5℃/мин |
Скорость охлаждения |
3℃/мин |
|||||||
|
Мощность нагрева |
22кВт |
Температурная зона нагрева |
3 |
|||||||
|
Равномерность температуры печи
|
±3℃ |
Термопара контроля температуры |
К выпускной |
|||||||
|
Метод контроля температуры |
SSR |
Программное управление |
P.I.D -регулятор |
|||||||
|
Материал полости печи |
SUS316L |
Изоляционный материал |
Керами |
|||||||
|
Контроль атмосферы |
Многоканальный расходомер регулирует приток воздуха |
Атмосфера |
N2 |
|||||||
|
Степень вакуума |
≤10 годовых |
|||||||||
|
Чистота |
Класс 100 |
Коробление |
12-дюймовая коробление ≤2 мм; 8 дюймов коробления ≤1 мм |
|||||||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Полностью автоматическая вакуумная бескислородная печь. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support