Технические характеристики
Он в основном используется в составных полупроводниках, металлических электродах и соединительных линиях. Он использует процесс зачистки металла, чтобы придать фоторезисту форму перевернутой трапеции. Обычно это реализуется с использованием процесса негативного клея, поскольку негативный клей имеет определенные технологические трудности и локальные дефекты, такие как низкое разрешение, плохая однородность ширины линии, нестабильный угол перевернутой трапеции и другие факторы. В большинстве отраслей промышленности используется процесс инверсии газообразного аммиака с использованием положительного клея на основе фенольной смолы. После воздействия положительного клея образуется карбоновая кислота. Газ аммиака нейтрализует кислоту, а затем выполняется полное воздействие, может быть сформирована перевернутая трапециевидная морфология. В то же время сохраняется разрешение и стабильность ширины линии позитивной пленки.
Категория: Полупроводниковое технологическое оборудование.
Технические параметры
|
Степень вакуума |
150Па с использованием вакуумного насоса |
|
Метод нагрева |
Внешняя часть полости вокруг нагревается |
|
Температура |
RT+10℃～200℃; микрокомпьютерный регулятор температуры, точный и надежный контроль температуры. |
|
Точность контроля температуры |
±2%℃ (в пределах 150℃); |
|
Процесс инверсии аммиака |
Поднять температуру до заданного значения - вакуумировать - достичь заданного значения - залить аммиаком - взять изделие - вынуть и выставить на обратную сторону экспонирующей машины. |
|
Основные особенности |
Герметичность дверцы коробки можно регулировать, а цельное уплотнение дверцы из силиконовой резины обеспечивает высокий вакуум внутри коробки. Студия изготовлена из пластин нержавеющей стали и подвергнута электролитической полировке, что обеспечивает долговечность изделия. |
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Инверсионная печь аммиака. |
Цена по запросу. |
JoomShopping Download & Support