Индивидуальная платформа для образцов ALD

Технические характеристики

Оборудование для ALD с удаленной индуктивно-связанной плазмой (ICP), предоставляемое компанией Фэймянь, состоит главным образом из плазменного модуля, модуля газовых трубопроводов и реакционной камеры. Компания может предоставить индивидуальные решения для систем ALD, удовлетворяющие различные размеры образцов и условия реакции клиентов.

Особенности:

• Режим использования: совместим с режимами непрерывного и паузного осаждения;
• Газовая линия прекурсора: многоканальная структура, настраиваемая по требованию клиента;
• Точность температуры: ±1℃;
• Применяемые газы: O2, H2, N2, NH3;
• Равномерность температуры в реакционной камере: ≥99%;
• Плазменный источник питания: 300 Вт радиочастотный источник питания (с автоматическим согласующим устройством).