Магнетронная установка для ионного распыления с двойной мишенью J20

Технические характеристики

Можно распылять позолоченные металлы: Au, Pt, Pd, Ir и другие отдельные металлы, а также любой компонент сплавов Pt-Au, Pt-Pd и т.д.

1. Катод для магнетронного распыления с двумя мишенями: нет необходимости менять мишень, характерный процесс укладки
2. Автоматизация сенсорного экрана с помощью одной кнопки: простота в использовании, экономия времени и лишних забот
3. Стандартная модульная стадия отбора образцов с вращающимся отклонением: 3D-распыление порошковых образцов

Полевая эмиссионная сканирующая электронная микроскопия имеет более высокое разрешение, чем электронная микроскопия с нитью накала, и ее увеличение может быть увеличено порядка 100 000 раз. Следовательно, предъявляются более высокие требования к степени детализации инструментов для распыления золота. Мелкие частицы не только не влияют на характеристики образца, но и при удалении заряда и облицовке футеровкой. Степень улучшения увеличивается.

Обычным решением для подготовки образцов для электронной микроскопии с полевой эмиссией SEM является распыление металла Pt, но способность Pt к утечке и возбуждению электронного сигнала не так хороша, как Au, особенно в случае 3D-порошковых, пористых и диафрагменных образцов, трудно использовать только распыление Pt.

Поэтому мы разработали прибор для ионного распыления с двумя мишенями и разработали процесс ламинирования: сначала распыляется Pt, а затем Au. Образец может быть защищен сначала Pt, а затем Au может улучшить пропускную способность и семафорность образца, что может играть двойную роль подавления заряда и улучшения морфологии. Степень покрытия, сочетающая небольшое количество многократных повторений, вращение и отклонение и т.д., улучшает визуализацию SEM.

Технические параметры

Примеры применения:

Обычная примерная сцена:

Обычный образец сцены (плоский образец, аналог плоской дороги): J20 (внедорожник) в основном эквивалентен обычному прибору для ионного распыления с одной целью (автомобиль), и даже прибор для высоковакуумного ионного распыления с одной целью дает тот же эффект

Пыльца- 

Крылья бабочки- 

Чип- 

Сцена отбора проб порошка и диафрагмы:

При тех же условиях распыления эффект устранения распыляемого заряда Au значителен, но частицы Au могут быть отчетливо видны, заряд Pt не устраняется, и слоистый образец Pt-Au не заряжен, и частицы металла не могут быть отчетливо видны.

Сцена с образцом 3D (порошковая, пористая, волокнистая и т.д., аналогичная горной дороге): Двойной катод с наклоном J20 + отклонение вращения + процесс ламинирования для достижения всестороннего многоуглового нанесения на большой площади, его эффект зарядки и эффект изображения лучше, чем эффект распыления с одной целью Pt

Pt-предшественник литиевой батареи с порошковым напылением- 

Прекурсор литиевой батареи из ламинированного сплава Pt-Au с порошковым напылением- 

Порошковый спрей-предшественник литиевой батареи Au- 

Легко повреждаемый образец сцены:

Перед распылением изображение, увеличенное на 5 тыс. раз, показало явление деформации адгезии нанопроволоки. Платину распыляли дважды в течение 40 секунд для укрепления структуры, а затем добавляли платину в течение 5 секунд + 22 секунды золота. В течение этого периода подставку для образцов вращали (20 об/мин) и наклон непрерывно изменяли на ±30 градусов. Можно четко отобразить время в 30 тыс. раз.

Сцена с легко повреждаемым образцом: При работе с хрупкими и чувствительными материалами можно распылять Pt для защиты поверхности образца, а затем можно распылять Au для повышения способности к электрической утечке и семафоризации образца в сочетании с вращением и отклонением образца для повышения однородности покрытия золотой пленкой и, наконец, получения более реалистичной и четкой морфологии.

Полиэтиленовая пленка - не распыляется: 

Ламинированный сплав Pt-Au с напылением полиэтиленовой пленки: 

Ламинированный сплав Pt-Au с напылением полиэтиленовой пленки: