Proxima ELK-Вертикальное нанесение с низкой диэлектрической проницаемостью

Технические характеристики

Proxima - это оборудование для нанесения тонких пленок в виде трубчатых печей, независимо разработанное компанией Jiyi Technology. В основном он используется при нанесении тонкопленочных покрытий на микросхемы памяти NAND, DRAM и логические микросхемы. Proxima обладает высокой производительностью, отличным контролем толщины пленки, превосходной стабильностью толщины, отличным ступенчатым покрытием, автоматической очисткой и другими функциями.

Область применения:

300 мм IC

Эксплуатационные характеристики:

Поддерживает быстрое повышение и понижение температуры

Высокая производственная мощность

Превосходный контроль толщины и стабильность толщины

Хорошая однородность WIW / WTW / RTR

Превосходное ступенчатое покрытие

Функция автоматической очистки, высокая производительность

Пластина: 12 дюймов

Пленка: SiON, SiCN, SiOCN

Применение: прокладка и т.д.