Технические характеристики
PLD 300 — это установка для импульсного лазерного осаждения, разработанная компанией для университетов и научно-исследовательских институтов. Она предназначена для выращивания сверхпроводящих пленок, ферроэлектрических, термоэлектрических, пьезоэлектрических материалов, а также многослойных и гетерогенных пленок сложных оксидов. Система позволяет выращивать материалы с высокой степенью химической сложности, при этом в процессе осаждения могут использоваться активные, инертные и смешанные технологические газы для улучшения качества пленок.
Технические параметры
|
PLD 300 |
Описание модуля |
Параметры конфигурации |
|
|
Камера для выращивания |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Размер полости |
300 мм I.D. |
||
|
Температура выпечки |
Макс.200℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-10мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 450 л/с + механический насос 10 л /с |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона + датчик пленки конденсатора |
||
|
Ионный насос /TSP /NEG |
Необязательный |
||
|
Держатель образца |
Размер выборки |
2 дюйма |
|
|
Способ нагрева подложки |
Лучистое отопление/лазерное отопление |
||
|
Максимальная температура нагревателя подложки |
1200℃ |
||
|
Максимальная скорость вращения подложки |
30 Об/мин |
||
|
Целевая таблица |
Целевой размер |
6 × 1 дюйм или 3 × 2 дюйма |
|
|
Способ вращения |
Оборот + вращение |
||
|
Независимая перегородка цели |
Пневматический привод |
||
|
Массовый расходомер |
Трехходовой /200 см |
||
|
Компоненты |
QCM |
Стандартная конфигурация |
|
|
Дифференциальный RHEED |
15 кэВ-30 кэВ |
||
|
Источник ионов |
Необязательный |
||
|
РГА |
Необязательный |
||
|
Комната для быстрых инъекций |
Полость |
Материал полости |
SS316 |
|
Температура выпечки |
120℃ |
||
|
Фоновый вакуум |
<5×10-8мбар |
||
|
Насосная система |
Молекулярный насос 80Л/с + механический насос 10Л /с |
||
|
Система измерения вакуума |
Датчик полного диапазона |
||
|
Компоненты |
Образец парковочной платформы |
3 станции |
|
|
Стержень для передачи образца |
CF35/600 мм |
||
|
Интеграция аппаратного и программного обеспечения |
Программное обеспечение GUIDE |
Стандартная конфигурация |
|
|
Система выпечки |
Стандартная конфигурация |
||
|
Системный кронштейн |
Стандартная конфигурация |
||
|
Вакуумная система освещения |
Стандартная конфигурация |
||
|
лазер |
Импортированный/отечественный опционально |
||
|
Система анализа изображений KSA |
Необязательный |
||
|
Источник ионов Кауфмана |
Необязательный |
||
|
Инфракрасный термометр |
Необязательный |
||
|
Тележка-насос |
Необязательный |
||
|
Плазменная очистка |
Необязательный |
||
|
ПЗС -камера |
Необязательный |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
PLD 300 |
По запросу |
JoomShopping Download & Support