Двухкамерная система магнетронного напыления в сверхвысоком вакууме QBT-P

Технические характеристики QBT-P (Приготовление сверхпроводников Ta / TiN / NbN / Al / Nb и т.д.)

Камера сверхвысокого вакуума. Камера UHV

2 камеры сверхвысокого давления, включая загрузочную блокировку и напыление, максимальный вакуум, предельное давление <3E-9 Торр

Скорость выхлопа Распространение накачки.

От банкомата до 1E-7Торр<20мин (блокировка нагрузки)

Нагрев подложки. Нагрев вафли.

РТ-900°С

Ионно-лучевая очистка. Ионное измельчение.

Источник ионов Кауфмана, энергия ионов 100-600 эВ, ток ионного луча 100-1200 эВ: 20-200 мА, однородность травления подложки Ф100 <±6%

Магнетронное распыление

Источник питания постоянного или радиочастотного тока, пластина и целевое пространство могут постоянно меняться

Вафельный трансфер

Высоконадежные и повторяемые возможности переноса подложек

Человеко-машинный интерфейс HMI

Полностью автоматизированный интерфейс человеко-машинного управления.

Безопасность

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Безопасность

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Модель

Стоимость, доллары США

Двухкамерная система магнетронного напыления в сверхвысоком вакууме QBT-P.

Цена по запросу.