Двухкамерная система испарения сверхвысокого вакуума QBT-E с двойным наклоном

Технические характеристики QBT-E (подготовка Ebeam SiO2/Si и т.д.)

Камера сверхвысокого вакуума UHV

2 камеры, загрузочный шлюз и испаритель, предельное давление загрузочного шлюза <9E-9Torr, с подогревом при комнатной температуре - 900°C

Испарительная камера

Предельный вакуум. Предельное давление <3E-9Торр

Отображение и контроль скорости нанесения покрытия с высоким разрешением. Скорость нанесения покрытия.

±0,015Å, однородность покрытия Ф100 мм <±3%

Возможность работы с подложкой. Наклон и вращение пластины

Может достигать наклона на 180 градусов и вращения на 360 градусов, точное управление 0,1 градуса, нагрев при температуре RT-600°C.

Передача инфекции

Полностью автоматизированная передача образцов.

Человеко-машинный интерфейс HMI

Полностью автоматизированный интерфейс человеко-машинного управления.

Безопасность

Защитная блокировка промышленного стандарта. Промышленная защитная блокировка, сигнализация, EMO

Модель

Стоимость, доллары США

Двухкамерная система испарения сверхвысокого вакуума QBT-E с двойным наклоном.

Цена по запросу.