Термоактивируемая высоковакуумная сварочная печь для герметизации с геттером VH2

Технические характеристики

Высоковакуумная герметизирующая и сварочная печь серии VH - это профессиональная высоковакуумная герметизирующая и сварочная печь для термической активации геттера. Серия VH использует верхний и нижний инфракрасный нагрев и оснащена технологической атмосферой, контролируемой азотом и муравьиной кислотой, для реализации работы в условиях высокого вакуума или атмосферы. Высокотемпературная активация геттера и низкотемпературная сварка чипа могут быть завершены одновременно. Оборудование обладает высокой точностью контроля температуры и стабильным процессом, а устройство имеет низкую частоту отверстий и высокую герметичность после сварки. Корпус оборудования оснащен водяным охлаждением для обеспечения надежности длительного использования оборудования.

Оборудование этой серии может обеспечить теплоизоляционную защиту низкотемпературного 140-градусного припоя при термической активации 350-градусного геттера при высокой температуре и одновременно реализовать высокотемпературную термическую активацию 350-градусного геттера и 180-градусную низкотемпературную сварку внутри устройства.

Степень разрежения оборудования этой серии достигает 10^-5Па.

Оборудование этой серии подходит для сварки высоковакуумной упаковки микроустройств и инфракрасных чипов PGA (аналогичная упаковка 5 * 5 ~ 45 * 45 мм) в керамической упаковке.

Оборудование этой серии может использоваться для серийного производства инфракрасных чипов с керамической оболочкой и чипов MEMS.

Функция защиты от подделки материала: устройство подключается к системе MES для автоматического считывания идентификатора для предотвращения подделки материала.

Основная функция защиты от ошибок в процессе: при запуске оборудования ключевые параметры оборудования автоматически сравниваются с параметрами процесса, хранящимися на сервере MES, чтобы можно было выполнить сварку, если она выполнена правильно. В то же время, в соответствии с потребностями заказчика в процессе, основные параметры процесса могут быть собраны и сравнены с установленными параметрами процесса для каждого периода времени, а при превышении порогового значения автоматически подается сигнал тревоги и предлагается ручное вмешательство.

Оборудование имеет функцию сбора данных.

Оборудование может быть легко интегрировано с системой MES.

Стандартная конфигурация

• Комплект узла сварочной печи с вакуумной герметизацией, активируемой нагревом Геттера
• Охладитель
• Вакуумный сухой насос
• Молекулярный насос

Необязательно

• Верхний нагрев (подходит для сварки крупногабаритных крепежных изделий)
• Ионный насос