Вакуумная печь для спекания с муравьиной кислотой VF680

Технические характеристики

1. Оборудование имеет в общей сложности 3 зоны: предварительного нагрева, обогрева и охлаждения (с независимыми технологическими полостями); в каждой полости есть смотровое окно, а давление в технологической полости составляет 0,2 ~ 1050 мбар.
2. Оборудование поддерживает атмосферную среду, содержащую азот и муравьиную кислоту (азот + муравьиная кислота), и может точно контролироваться; оно поддерживает процесс сварки.
3. Программируемая многоступенчатая функция вакуумной откачки: Каждая полость имеет независимый реальный насос и систему управления, степень вакуума составляет ≤ 1 мбар, скорость откачки составляет 100 м ^ 3 / ч, установлен клапан плавной откачки, а скорость регулируется. Значение вакуума в полости отображается в режиме реального времени и может контролироваться и регулироваться.
4. Нагревательная пластина используется для контактного нагрева, а охлаждающая пластина - для контактного отвода тепла. Площадь нагревательной пластины и охлаждающей пластины составляет 685 * 350 мм, а несущий слой нагревательной пластины составляет ≤ 20 кг; скорость нагрева составляет 1-3 ℃ / С, а скорость охлаждения - 3-6 ℃ / С, которую можно программировать и контролировать.
5. Рабочая температура составляет комнатную температуру ~ 400 ℃, точность контроля температуры составляет ≤ ± 0,5 ℃, а однородность температуры составляет ≤ ± 1%.
6. После сварки количество одиночных отверстий составляет менее 2%, а общее количество отверстий не превышает 3% (выше 10 * 10 мм). Кривую процесса можно регулировать в соответствии с конкретными требованиями; смещение позиционирующей микросхемы без приспособления после сварки соответствует требованиям процесса (угол смещения ≤ 0,2 мм ≤ 1 градус).
7. Управление технологическим процессом: 1) Температурный градиент и время каждой стадии сварки могут быть свободно запрограммированы и сохранены по мере необходимости.；

2) Может реализовать автоматическую генерацию всех кривых процесса и может редактировать программу процесса；

3) Он оснащен цифровым регулятором массового расхода газа (MFC), который может точно контролировать расход технологического газа.

8. Независимые исследования и разработки управляющих программ, мониторинг и запись данных в режиме реального времени, отображение и запись данных о температуре, расходе и вакууме в режиме реального времени; с управлением полномочиями программы (администраторы, технические специалисты и операторы) для предотвращения изменения параметров программы по ошибке.
9. Оборудование оснащено сигнализацией утечки из полости (обнаружен сбой вакуума, сигнализация при утечке газа), сигнализацией подачи давления в газовом контуре (сигнализация при слишком низком давлении в газовом контуре), сигнализацией перенапряжения в полости (сигнализация при слишком высоком давлении в полости), сигнализацией уровня муравьиной кислоты (сигнализация при слишком низком уровне муравьиной кислоты), сигнализацией перегрева (сигнализация при превышении установленной температуры); Оно имеет независимую систему защиты от газа, поэтому электрические двери оснащены запирающими устройствами.
10. Средний срок службы (плоскостность) нагревательной пластины составляет более 5 лет. Система контроля температуры имеет интеллектуальную функцию коррекции температуры, которая может компенсировать разницу температур; она имеет функцию MES, которая может открывать соответствующие интерфейсы и функции для получения информации, требуемой клиентами. ПОЛУ стандарт связи SECS / GEM.
11. Передняя и задняя части имеют гусеничные интерфейсы, которые могут быть подключены к укладочной машине через гусеницу.
12. Модульная конструкция оборудования, конструкция разделения нагревательной трубки и нагревательной пластины, если при длительном использовании изменяется равномерность температуры, вы можете заменить часть нагревательной трубки напрямую, не заменяя всю нагревательную пластину. Удобно регулировать равномерность температуры каждой нагревательной пластины, легко поддерживать и калибровать температурные характеристики.