Устройство для нанесения PVD-покрытия периодического действия серии FDP

Продукты серии FDP подходят для полного вакуумного покрытия заготовок различных форм и размеров. Оборудование имеет однокамерную конструкцию и оснащено вращающейся системой держателей заготовок, которая может осуществлять трехуровневое вращение, такое как вращение, вращение и планетарное вращение. Оно может быть сконфигурировано с различными источниками ионов, сбалансированными/несбалансированными магнетронными катодами, катодными дугами. системы смещения и другие функциональные компоненты, которые можно использовать в исследованиях, разработках и мелкосерийном производстве различных технологий функциональных покрытий.

Технические характеристики

• Конструкция установки для осаждения является стандартизированной, взаимозаменяемой и легко реализуемой в различных комбинациях.
• Может реализовывать такие функции, как предварительная ионная обработка, магнетронное распыление и многодуговое ионное покрытие.
• Оптимизированная конструкция рамы заготовки, применимая к различным типам заготовок.

Размер полости: Ø700/800/900/1000/ 1200/ 1400 мм.

Температура нагрева: ≤600℃.

Грузоподъемность: 40-50 штук (в соответствии со спецификациями в пределах 500*180 мм).

Время работы одной печи: 90-120мин.

Годовая производственная мощность: водородная биполярная пластина ≥120 000 штук.