Оборудование для нанесения покрытий в основном основано на испарении металла/органического источника. Оно подходит для получения металлических элементов, оксидов, диэлектриков, полупроводниковых пленок и т.д.
Технические характеристики
Оборудование для нанесения покрытий в основном основано на испарении металла / органического сырья. Оно подходит для получения металлических элементов, оксидов, диэлектриков, полупроводниковых пленок и т.д. В лабораторных условиях. Его также можно использовать для обучения и предварительного тестирования производственных линий. , расширительное пространство большое, подходит для преподавательской и исследовательской работы колледжей и университетов.
Базовая конструкция
Оборудование для нанесения покрытия состоит из вакуумной камеры, системы подачи металла / органического сырья, системы отбора проб, вакуумного насоса, системы контроля толщины пленки, стойки для оборудования и электронной системы управления. Передняя дверца вакуумной камеры может быть соединена с перчаточным ящиком, и применяется интегрированная конструктивная схема. Весь комплект оборудования имеет компактную конструкцию и простую компоновку, что позволяет избежать неопрятного внешнего вида экспериментального оборудования.
Технические параметры
|
1. Вакуумная камера |
||
|
Внешний вид |
1 комплект высококачественной вакуумной камеры D-образной формы из нержавеющей стали 304, внутренний размер вакуумной камеры составляет D400 * 480 мм, передняя и задняя двойные двери, а задняя дверь имеет квадратную дверцу на петлях, которая удобна для очистки вакуумной камеры, внутренней отладки, технического обслуживания и отбора образцов; Передняя дверь оснащена горизонтальной выдвижной квадратной дверцей, а каждая передняя и задняя двери оснащены по 1 комплекту стекол DN100; |
|
|
Дно |
2 комплекта интерфейсов для металлических источников, 4 комплекта интерфейсов для органических источников, 1 комплект интерфейсов для молекулярных насосов, 2 комплекта интерфейсов для освещения и 3 комплекта интерфейсов для измерения толщины пленки; |
|
|
Наверх |
1 комплект интерфейса для отбора проб, 1 комплект интерфейса с электрическим дефлектором, 1 комплект интерфейса с высоковакуумным пневматическим дефлекторным клапаном; |
|
|
Левая сторона |
1 комплект высоковакуумного пневматического интерфейса с клапаном-заслонкой. |
|
|
2. Система металл/ органический источник |
||
|
Источник металла |
Количество: 2 комплекта 2 комплекта медных электродов с водяным охлаждением, совместимых с испарителями (вольфрамовыми, молибденовыми и танталовыми) и спиральными проводами, оснащенных пневматическими перегородками, 1 комплект источника постоянного тока мощностью 1 кВт (цифровой дисплей), точность регулировки тока 1А (точная регулировка), мощность соответствует обычному испарению металлов и оксидов металлов; |
|
|
Органический источник |
Количество: 4 комплекта Кварцевая лодка объемом 4 куб. см, 2 источника питания для контроля температуры (точность отображения измерителя температуры 0,1 ° C), диапазон температур: RT ~ 500 ° C (точность контроля температуры ± 1 ° C), с пневматическим дефлектором; |
|
|
Перегородка |
Источники испарения независимы друг от друга, а перегородка разделена во избежание перекрестного загрязнения |
|
|
3. Система отбора проб |
||
|
Вращение подложки |
Скорость плавно регулируется в диапазоне от 0 до 30 об /мин; |
|
|
Подъем подложки |
Электрический подъем, расстояние между основанием и источником испарения составляет 200 ~ 300 мм, плавно регулируемое с помощью сенсорного экрана; |
|
|
Держатель для образцов |
подложка 20* 20 мм 8 штук |
|
|
Затвор для подложки |
Электрический затвор |
|
|
4. Вакуумная система |
||
|
Комплект вакуумных насосов |
1) 1 комплект молекулярного насоса емкостью 600 л/с; 2) 1 комплект роторно-лопастного насоса 8л/с 3) 1 комплект высоковакуумных пневматических задвижек CF150; 4) 1 комплект высоковакуумного пневматического заслонки CF40; 5) 2 комплекта высоковакуумных пневматических заслонок KF16; 6) 1 комплект высоковакуумных пневматических заслонок KF40; 7) 1 комплект вакуумного электромагнитного клапана KF40; 8) 2 комплекта соединительных шлангов для клапанов насоса KF40, 1 комплект тройника KF40; 9) 1 комплект цифрового вакуумметра (диапазон измерений: 1 × 105~1 × 10-5Па) |
|
|
5. Система контроля толщины пленки |
||
|
Измеритель толщины пленки |
1 комплект трехканального кварцевого монитора толщины пленки |
|
|
Датчик толщины пленки |
3 комплекта датчиков толщины пленки CF35 с водяным охлаждением |
|
|
6. Стойка для оборудования |
||
|
1) 1 комплект рамы для сварки квадратных труб из углеродистой стали 40; 2) 4 части универсальных колес, перемещаемых и регулируемых; 3) 4 части ножек M16, зафиксированных и установленных. |
||
|
7. Электронная система управления |
||
|
Источник питания из металла |
1 комплект |
|
|
Источник питания из органического источника |
2 комплекта (один на двоих) |
|
|
Источник питания с дефлектором испарения |
1 комплект |
|
|
Трехканальный кварцевый монитор толщины пленки |
1 комплект |
|
|
Стол для отбора проб и блок питания с перегородкой |
1 комплект |
|
|
Источник питания для освещения выпечки |
1 комплект |
|
|
Управление ПЛК |
1 комплект, оснащенный сенсорным экраном |
|
|
Источник питания для полного контроля |
1 комплект |
|
|
8. Перчаточный ящик с однопозиционным перчаточным ящиком (Со съемной левой стороной, без системы очистки газов и анализаторов) |
||
|
Размер камеры |
L1200 * W750 * H900 mm |
|
|
Перчатки |
1 пара |
|
|
Большая прихожая |
Внутренний диаметр 360 мм, длина 600 мм |
|
|
Небольшая прихожая |
Внутренний диаметр 150 мм, длина 300 мм |
|
|
9. Другие параметры |
||
|
1) Защита от обрыва фазы, защита от неправильной работы, блокировка рычажного механизма и функции запуска и остановки вакуума одним нажатием кнопки; 2) Источник питания: двухфазная система электроснабжения ~ 220 В (пиковая мощность 3 кВт); 3) Водоснабжение: небольшой охладитель, температура охлаждающей воды 5 ℃~35 ℃, температура рабочей среды: 10 ℃~40 ℃; 4) Подача воздуха: небольшой безмасляный бесшумный воздушный насос, обеспечивающий давление воздуха 0,2-0,3 МПа для привода пневматических клапанов; 5) Максимальный вакуум: 6 × 10-5Па, время от атмосферного до 6 × 10 -4Па составляет менее 35 минут (заполнить сухим азотом), выключить на 12 часов, степень вакуума ≤10Па. |
||
|
Модель |
Стоимость, доллары США |
|
Three-source evaporation coater with single-station glove box |
По запросу |
JoomShopping Download & Support