Система физического осаждения из паровой фазы тонкой алюминиевой пленки металла eVictor PVD Al

Оборудование eVictor PVD Al представляет собой высокотехнологичное оборудование PVD, используемое в области 12-дюймовых интегральных схем. Система объединяет несколько технологических модулей, таких как высокотемпературная дегазация, предварительная плазменная очистка, высокотемпературный алюминий, TaN, TTN и т.д., и реализует процессы внутри системы. Он включает в себя множество ключевых технологий, таких как трансмиссия с большой платформой, высокотемпературный электростатический патрон, усовершенствованная конструкция источника магнетронного распыления, контроль дефектов нитевидных кристаллов толстого алюминия и программное управление.

Технические характеристики

• Усовершенствованная система магнетронного распыления эффективно улучшает однородность пленки и коэффициент использования целевого материала.
• Профессиональное нагревательное основание и высокотемпературная конструкция электростатического патрона с хорошей однородностью температуры
• Совершенно новая трансмиссионная платформа с двумя полостями, отличающаяся высокой конфигурируемостью, может поддерживать 10 технологических модулей.
• Отличное решение для устранения дефектов, связанных с усами, для уменьшения дефектов продукта.
• Большая производственная мощность, низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: алюминий, нитрид тантала, нитрид титана, титан.

Применимый процесс: алюминиевая прокладка, алюминиевая проволока, горячий алюминий.

Применимая область применения: интегральная схема, силовой полупроводник, микродисплей на основе кремния.