Система физического осаждения металла из паровой фазы с 12-дюймовой задней стороной серии Polaris

Система физического осаждения тонкой пленки металла серии Polaris в основном состоит из атмосферной платформы, платформы вакуумной передачи, камеры дегазации (дегазации), камеры предварительной очистки и технологической камеры. Оборудование имеет структуру кластерного инструмента и может быть настроено. с несколькими технологическими камерами, камерами предварительной очистки, камерой очистки и камерой дегазации подходят для крупномасштабного производства пленки в упаковочной сфере. Серия PVD Polaris представляет собой полностью автоматическое оборудование высокой производительности с такими функциями, как автоматическое открытие и закрытие крышки реакционной камеры, автоматический перенос пластин, технологическая дегазация, предварительная очистка поверхности пластин и полностью автоматизированное осаждение тонких пленок.

Технические характеристики

• Конструкция профессионального источника магнетронного распыления и конструкция камеры эффективно повышают коэффициент использования целевого материала.
• Гибкая конфигурация камеры и оптимизированный технологический процесс обеспечивают высокую производительность производства и низкие эксплуатационные расходы.
• Стабильная система передачи, совместимая с различными типами передачи подложек, такими как деформированные листы, склеивающие листы и тонкие листы.
• Хорошая способность контролировать частицы и напряжение.

Размер пластины: 12 дюймов.

Применимые материалы: алюминий, никель-ванадий, серебро, титан.

Применимый процесс: процесс металлизации на обратной стороне.

Применимая область применения: силовой полупроводник, усовершенствованная упаковка.