8-дюймовая система физического осаждения из паровой фазы серии Polaris

Серия Polaris в основном используется для процессов осаждения металлической пленки на пластины диаметром 8 дюймов и меньше. Машина имеет многокамерную кластерную структуру, может поддерживать 6 технологических модулей и способна выполнять полностью автоматическую обработку. Система в основном состоит из модулей передачи, технологических модулей, компонентов «серой зоны», силовых шкафов и т.д. Технологический модуль в основном используется для предварительной обработки поверхности пластины и нанесения тонких пленок, а транспортный модуль используется для безопасной и точной доставки пластины на назначенную рабочую станцию.

Технические характеристики

• Способность обрабатывать пленку из нескольких материалов, низкий уровень повреждений, способность к заполнению с высоким соотношением сторон.
• Независимая технологическая камера, может поддерживать 6 технологических модулей.
• Хорошая способность контролировать температуру и содержание частиц.
• Гибкая конфигурация, большие производственные мощности, низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 6, 8 дюймов.

Применимые материалы: серебро, вольфраматат титана, золото, платина, титан, нитрид титана, алюминий и т.д.

Применимый процесс: процесс переворачивания, металлический электрод и т.д.

Применимая область применения: составной полупроводник, полупроводниковое освещение, микродисплей на основе кремния, области научных исследований.