8-дюймовая система физического осаждения из паровой фазы серии eVictor

Оборудование серии eVictor в основном используется для процессов осаждения 8-дюймовой металлической пленки. Машина имеет многокамерную переднюю и заднюю двухплатформенную конструкцию, может поддерживать 10 технологических модулей и способна осуществлять полностью автоматическую обработку. Система в основном состоит из модулей передачи, технологических модулей, компонентов «серой зоны», силовых шкафов и т.д. Технологический модуль в основном используется для предварительной обработки поверхности пластины и нанесения тонких пленок, а транспортный модуль используется для безопасной и точной доставки пластины на назначенную рабочую станцию.

Технические характеристики

• Профессиональная конструкция нагревательного основания с хорошей равномерностью температуры, непрерывная обработка высокотемпературного толстого алюминия без накопления температуры.
• Высокотемпературный процесс производства алюминия обеспечивает высокую заполняющую способность с высоким соотношением сторон.
• Передача и обработка технологического листа Back gold, мониторинг температуры процесса в режиме реального времени, возможность точного контроля температуры и хорошая способность контролировать напряжение.
• Передающая платформа с двумя полостями, может поддерживать 10 технологических модулей.
• Высокий коэффициент использования целевого материала, большая производственная мощность, низкие эксплуатационные расходы.

Размер пластины: 8 дюймов.

Применимые материалы: титан, нитрид титана, жаропрочный алюминий, никель, никель-ванадий, серебро.

Применимый процесс: процесс нанесения переднего электрода, процесс металлизации заднего.

Применимая область применения: интегральные схемы, силовой полупроводник, область научных исследований, составной полупроводник.